(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021234195 68.1 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 江苏万喜 至工业设计有限公司 地址 226600 江苏省南 通市海安高新区(原 海安镇)镇南路428号江苏万喜至工业 设计有限公司 (72)发明人 万伏初　 (51)Int.Cl. B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于清洗半导体的清洗 槽 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于清洗半导体的 清洗槽， 包括水箱和清洗槽框， 所述清洗槽框固 定连接在水箱上端中间位置， 所述水箱侧壁固定 连接有循环水泵， 所述循环水泵上固定连接有一 个抽水管和一个排水管， 所述抽水管远离循环水 泵一端位于水箱底部， 所述排水管远离循环水泵 一端固定连接在清洗槽框侧壁上， 所述清洗槽框 内设置有清洗机构， 本实用新型所达到的有益效 果是： 利用循环水泵使水箱内的水在清洗槽框内 不断流动， 并且清洗出的沉淀物会在收集板上的 收集槽内收集， 不仅保证可以将半导体清洗干 净， 而且方便对清洗出的沉淀物进行清理。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 217369547 U 2022.09.06 CN 217369547 U 1.一种用于清洗半导体的清洗槽， 其特征在于， 包括水箱 （1） 和清洗槽框 （2） ， 所述清洗 槽框 （2） 固定连接在水箱 （1） 上端中间位置， 所述水箱 （1） 侧壁固定连接有循环水泵 （3） ， 所 述循环水泵 （3） 上固定连接有一个抽水管 （4） 和一个排水管 （5） ， 所述抽水管 （4） 远离循环水 泵 （3） 一端位于水箱 （1） 底部， 所述排水管 （5） 远离循环水泵 （3） 一端固定连接在清洗槽框 （2） 侧壁上， 所述清洗 槽框 （2） 内设置有清洗 机构 （6） 。 2.根据权利要求1所述的一种用于清洗半导体的清洗槽， 其特征在于， 所述清洗机构 （6） 包括端板 （61） ， 所述端板 （61） 均匀卡接在清洗槽框 （2） 上端， 所述端板 （61） 下端均固定 连接有一对连接杆 （62） ， 所述连接杆 （62） 下端 固定连接有存放框 （63） ， 所述存放框 （63） 侧 壁为网状结构， 所述清洗槽框 （2） 上端且与端板 （61） 相对应位置均开设有定位槽 （64） ， 所述 端板 （61） 下端两侧均插接在定位槽 （64） 内。 3.根据权利要求1所述的一种用于清洗半导体的清洗槽， 其特征在于， 所述清洗槽框 （2） 下端卡接有一个收集板 （7） ， 所述收集板 （7） 上端均匀开设有收集槽 （8） 。 4.根据权利要求1所述的一种用于清洗半导体的清洗槽， 其特征在于， 所述清洗槽框 （2） 上端内壁固定连接有一对伸缩 杆 （9） ， 所述伸缩杆 （9） 下端固定连接有顶板 （10） ， 所述顶 板 （10） 下端与收集板 （7） 相接触。 5.根据权利要求4所述的一种用于清洗半导体的清洗槽， 其特征在于， 所述清洗槽框 （2） 上端侧壁与顶板 （10） 之间固定连接有一对连接弹簧 （11） ， 所述连接弹簧 （11） 均位于伸 缩杆 （9） 外侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217369547 U 2一种用于 清洗半导体的清洗槽 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种清洗槽， 尤其涉及一种用于清洗半导体的清洗槽， 属于半导 体清洗技 术领域。 背景技术 [0002]半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质， 其电导率容易受控制， 可作为 信息处理的元件材 料。 [0003]然而在半导体 的清洗过程中， 均是将半导体放置到静止 的水槽内， 在水没有任何 流动的情况下， 很难将半导体上粘附的颗粒物全部清楚干净， 并且清洗下 的颗粒物会沉淀 到清洗槽底部， 对于沉淀物的清理也只能将清洗槽内的水排干净， 才能得到有效清理， 操作 较为麻烦。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种用于清洗半 导体的清洗 槽。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]设计一种用于清洗半导体的清洗槽， 包括水箱和清洗槽框， 所述清洗槽框固定连 接在水箱上端中间位置， 所述水箱侧 壁固定连接有循环水泵， 所述循环水泵上固定连接有 一个抽水管和 一个排水管， 所述抽水管远离循环水泵一端位于水箱底部， 所述排水管远离 循环水泵一端固定连接在清洗 槽框侧壁上， 所述清洗 槽框内设置有清洗 机构。 [0007]优选的， 所述清洗机构包括端板， 所述端板均匀卡接在清洗槽框上端， 所述端板下 端均固定连接有一对连接杆， 所述连接杆下端固定连接有存放框， 所述存放框侧 壁为网状 结构， 所述清洗槽框上端且与端板相对应位置均开设有定位槽， 所述端板下端两侧均插接 在定位槽内。 [0008]优选的， 所述清洗槽框下端卡接有一个收集板， 所述收集板上端均匀开设有收集 槽。 [0009]优选的， 所述清洗槽框上端内壁固定连接有一对伸缩杆， 所述伸缩杆下端固定连 接有顶板， 所述顶板下端与收集板相接触。 [0010]优选的， 所述清洗槽框上端侧壁与顶板之间固定连接有一对连接弹簧， 所述连接 弹簧均位于伸缩杆外侧。 [0011]本实用新型提出的一种用于清洗半导体的清洗槽， 有益效果在于： 利用循环水泵 使水箱内的水在清洗槽框内不断流动， 并且清洗出的沉淀物会在收集板上的收集槽内收 集， 不仅保证可以将半导体清洗 干净， 而且方便对清洗出的沉淀物进行清理。 附图说明 [0012]图1为本实用新型提出的一种用于清洗半导体的清洗 槽正面剖切结构示 意图；说　明　书 1/2 页 3 CN 217369547 U 3