(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211442595.7 (22)申请日 2022.11.18 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有限公司 地址 312300 浙江省绍兴 市上虞区通江西 路218号 (72)发明人 曹建伟　朱亮　傅林坚　张俊　 高宇　陈思源　陈建春　 (74)专利代理 机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 3 3250 专利代理师 黄文勇 (51)Int.Cl. C30B 15/26(2006.01) C30B 29/06(2006.01) G06V 20/52(2022.01) (54)发明名称 晶炉晶体生长调控方法、 装置、 计算机设备 和存储介质 (57)摘要 本申请涉及一种晶炉晶体生长调控方法、 装 置、 计算机设备和存储介质。 方法包括： 获取目标 晶棒光环区周边预设区域的实际温度梯度； 基于 目标晶棒的直径、 目标直径增长速率以及预设对 应关系， 确定实际所需的标准 温度梯度， 其中， 预 设对应关系为不同晶棒直径下直径增长速率与 径向温度梯度的对应关系， 径向温度梯度为从晶 棒光环区边缘到坩埚边缘径向多点测温获取的 温度梯度； 将实际温度梯度与标准温度梯度进行 比较， 并基于比较结果调节晶炉的加热功率。 采 用本方法能够更加全面地反映液面整体的温度 变化趋势， 实现对晶体生长的温度梯度更加精准 的控制， 保证晶体生长的品质。 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 CN 115491756 A 2022.12.20 CN 115491756 A 1.一种晶炉晶体生长调控方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 获取目标晶棒 光环区周边预设区域的实际温度梯度； 基于目标晶棒的直径、 目标直径增长速率以及预设对应关系， 确定实 际所需的标准温 度梯度， 其中， 所述预设对应关系为不同晶棒直径下直径增长速率与径向温度梯度的对应 关系， 所述径向温度梯度为从晶棒 光环区边 缘到坩埚边 缘径向多点测温获取的温度梯度； 将所述实际温度梯度与所述标准温度梯度进行比较， 并基于比较结果调节晶炉的加热 功率。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取目标晶棒光环区周边预设区域的 实际温度梯度之前， 还 包括： 在不同晶棒直径下， 对晶棒光环区边缘到坩埚边缘的区域进行多点测温， 获取所述径 向温度梯度； 将所述径向温度梯度与对应的所述直径增长速率关联， 建立不同晶棒直径下所述直径 增长速率与所述径向温度梯度的对应关系。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述对晶棒光环区边缘到坩埚边缘的区域 进行多点测温包括： 通过CCD相机对晶棒 光环区边 缘到坩埚边 缘的区域进行拍摄， 获取监测图像； 对所述监测图像进行灰度值测量， 获取从晶棒光环区边缘到坩埚边缘的径向多点温 度。 4.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述对所述监测图像进行灰度值测量， 获 取从晶棒 光环区边 缘到坩埚边 缘的径向多点温度包括： 以像素值为坐标， 每隔预设像素距离生成一个所述监测图像的测温点， 并进行灰度值 测量， 获取对应的温度。 5.根据权利要求1至权利要求4任意一项所述的方法， 其特征在于， 所述获取目标晶棒 光环区周边预设区域的实际温度梯度包括： 测量目标晶棒光环区周边预设区域的多点温度， 获取不同径向方向上的所述实际温度 梯度。 6.根据权利要求5所述的方法， 其特征在于， 所述将所述实际温度梯度与所述标准温度 梯度进行比较， 并基于比较结果调节晶炉的加热功率包括： 将不同径向方向上的所述实际温度梯度与 所述标准温度梯度进行比较， 基于比较结果 综合调节晶炉的各个加热功率。 7.根据权利要求1至权利要求4任意一项所述的方法， 其特征在于， 所述将所述实 际温 度梯度与所述标准温度梯度进行比较， 并基于比较结果调节晶炉的加热功率包括： 若所述实际温度梯度小于所述标准温度梯度， 则减小晶体生长的加热功率； 若所述实际温度梯度大于所述标准温度梯度， 则增 加晶体生长的加热功率。 8.一种晶炉晶体生长调控 装置， 其特 征在于， 所述装置包括： 获取模块， 用于获取目标晶棒 光环区周边预设区域的实际温度梯度； 标准模块， 用于基于目标晶棒的直径、 目标直径增长速率以及预设对应关系， 确定实际 所需的标准温度梯度， 其中， 所述预设对应关系为不同晶棒直径下直径增长速率与径向温 度梯度的对应关系， 所述径向温度梯度为从晶棒光环区边缘到坩埚 边缘径向多点测温获取权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115491756 A 2的温度梯度； 调控模块， 用于将所述实 际温度梯度与所述标准温度梯度进行比较， 并基于比较结果 调节晶炉的加热功率。 9.一种计算机设备， 包括存储器和处理器， 所述存储器存储有计算机程序， 其特征在 于， 所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求 1至权利要求7中任一项 所述的方法的 步骤。 10.一种计算机可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 所述计算机程序 被处理器执行时实现权利要求1至 权利要求7中任一项所述的方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115491756 A 3