(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211326917.1 (22)申请日 2022.10.27 (71)申请人 苏州高视半导体技 术有限公司 地址 215153 江苏省苏州市高新区嘉陵江 路198号1 1幢9层90 3室、 904室 (72)发明人 不公告发明人 　 (74)专利代理 机构 北京维昊知识产权代理事务 所(普通合伙) 11804 专利代理师 李波 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/60(2017.01) H01L 21/66(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 异常半导体的分检方法、 分检机构、 电子设 备及存储介质 (57)摘要 本披露公开了一种异常半导体的分检方法、 分检机构、 电子设备及存储介质。 该方法包括： 获 取检测图像； 检测图像中包含有多个待测半导 体； 基于检测图像在多个待测半导体中确定异常 半导体； 根据异常半导体在第一坐标系下的图像 坐标换算异常半导体在第二坐标系下的机械坐 标； 第一坐标系为检测图像的图像坐标系； 第二 坐标系为检测图像对应的分检机构的定位坐标 系； 控制分检机构中的挑拣装置移动至异常半导 体的机械坐标处， 以剔除异常半导体。 本披露公 开的技术方案能够实现减少半导体分检过程中 的人工干 预程度， 通过机器自动完成对多个半导 体的异常检测以及完成对异常半导体的剔除工 作。 权利要求书2页 说明书13页 附图6页 CN 115457032 A 2022.12.09 CN 115457032 A 1.一种异常 半导体的分检方法， 其特 征在于， 包括： 获取检测图像； 所述检测图像中包 含有多个待测半导体； 基于所述检测图像在所述多个待测半导体中确定异常 半导体； 根据所述异常半导体在第一坐标系下的图像坐标换算所述异常半导体在第二坐标系 下的机械坐标； 所述第一坐标系为所述检测图像的图像坐标系； 所述第二坐标系为所述检 测图像对应的分检机构的定位 坐标系； 控制所述分检机构中的挑拣装置移动至所述异常半导体的机械坐标处， 以剔除所述异 常半导体。 2.根据权利要求1所述的异常 半导体的分检方法， 其特 征在于， 换算 步骤之前， 还 包括： 计算所述检测图像的图像中心坐标； 所述图像中心坐标为所述检测图像的图像中心在 第一坐标系下的图像坐标； 采集所述分检机构的机构定位坐标； 所述机构定位坐标为获取所述检测图像时， 所述 分检机构在第二 坐标系下的机 械坐标； 根据所述图像中心坐标以及所述机构定位坐标建立第一坐标系与第二坐标系之间的 换算关系； 相应地， 所述换算 步骤包括： 根据所述换算关系将所述异常 半导体的图像坐标 换算为所述异常 半导体的机 械坐标。 3.根据权利要求2所述的异常半导体的分检方法， 其特征在于， 建立换算关系的步骤包 括： 确定所述分检机构中的图像采集装置的像素精度； 以所述像素精度作为换算比例， 根据 所述图像中心坐标以及所述机构定位坐标建立所 述换算关系。 4.根据权利要求3所述的异常半导体的分检方法， 其特征在于， 所述以所述像素精度作 为换算比例， 根据所述图像中心坐标以及所述机构定位 坐标建立所述换算关系， 包括： 根据以下公式确定所述换算关系： 其中， 表示异常半导体在第二坐标系下的机械坐标； 表示异常半导体 在第一坐标系下的图像坐标； 表示所述机构定位坐标； 表示所述图像中心 坐标； R表示像素精度。 5.根据权利要求1所述的异常半导体的分检方法， 其特征在于， 所述获取检测图像， 包 括： 根据所述分检机构中的图像采集装置的工作参数、 待测半导体的尺寸以及 半导体扩膜 尺寸生成检测拍摄路径； 根据所述检测拍摄路径以及多个拍摄图像， 利用图像重叠算法合成所述检测图像； 所 述多个拍摄图像为所述分检机构沿所述检测拍摄路径移动时， 所述图像采集装置在不同路 径点所采集的图像。 6.根据权利要求1所述的异常半导体的分检方法， 其特征在于， 所述基于所述检测图像权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115457032 A 2在所述多个待测半导体中确定异常 半导体， 包括： 将所述检测图像进行切分为多张检测子图； 其中， 每一检测子图对应一个待测半导体； 将所述多 张检测子图分发至多台 图像检测装置 中进行半导体缺陷检测， 以确定所述异 常半导体。 7.根据权利要求1所述的异常半导体的分检方法， 其特征在于， 所述基于所述检测图像 在所述多个待测半导体中确定异常 半导体之前， 还 包括： 利用预设模板对所述检测图像进行模板匹配， 以得到每一待测半导体在所述检测图像 中的定位框； 以每一定位框的几何中心在第一坐标系下的图像坐标作为相应的待测半导体在第一 坐标系下的图像坐标。 8.一种分检机构， 其特 征在于， 包括： 图像采集装置， 用于获取检测图像； 所述检测图像中包 含有多个待测半导体； 图像检测装置， 用于基于检测图像在所述多个待测半导体中确定异常 半导体； 信息处理装置， 用于根据所述异常半导体在第 一坐标系下的图像坐标换算所述异常半 导体在第二坐标系 下的机械坐标； 以及用于发出移动指令以控制所述图像采集装置移动， 以及控制挑拣装置移动至所述异常 半导体的机 械坐标处； 挑拣装置， 用于执 行剔除所述异常 半导体的动作； 其中， 所述第一坐标系为所述检测图像的图像坐标系； 所述第二坐标系为所述检测图 像对应的分检机构的定位 坐标系。 9.一种电子设备， 其特 征在于， 包括： 处理器； 以及 存储器， 其上存储有可执行代码， 当所述可执行代码被所述处理器执行时， 使所述处理 器执行如权利要求1 ‑7中任一项所述的方法。 10.一种非暂时性机器可读存储介质， 其上存储有可执行代码， 当所述可执行代码被电 子设备的处 理器执行时， 使所述处 理器执行如权利要求1 ‑7中任一项所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115457032 A 3