(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211239408.5 (22)申请日 2022.10.11 (71)申请人 中科卓芯 半导体科技 （苏州） 有限公 司 地址 215600 江苏省苏州市张家港市塘桥 镇妙桥科创路东城科技创业园C幢底 楼 (72)发明人 杨伟　谢双军　 (74)专利代理 机构 苏州润桐嘉 业知识产权代理 有限公司 32 261 专利代理师 李蓉蓉 (51)Int.Cl. G06Q 10/04(2012.01) G06Q 10/06(2012.01) G06Q 50/04(2012.01)G06F 16/903(2019.01) G06N 7/00(2006.01) G06T 7/00(2017.01) G07C 3/00(2006.01) G07C 3/14(2006.01) G08B 21/24(2006.01) G01N 21/94(2006.01) G01N 15/06(2006.01) (54)发明名称 一种掩膜版生产过程中的污染物监测方法 及系统 (57)摘要 本发明提供了一种掩膜版生产过程中的污 染物监测方法及系统， 涉及数据处理技术领域， 通过根据当前生产工序信息确定污染物监测特 征、 监测手段信息； 根据监测手段信息对生产工 序过程进行监测获得监测信息， 当存在污染物时 根据监测结果生成提醒信息； 当监测结果不存在 污染物时， 将监测结果、 当前生产工序信息录入 生产链中， 基于生产链进行生产全 过程污染物影 响预测， 当存在污染物影 响时生成污染监测提醒 信息。 解决现有通过后道工序进行缺陷检测， 缺 乏在生产过程中的有效监测手段， 存在缺陷发现 不及时而影响产品品质和造成资源浪费的技术 问题。 达到实时监测并预测， 及时发现异常， 提高 掩膜版品质同时避免资源的加工浪费的技术效 果。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 115310730 A 2022.11.08 CN 115310730 A 1.一种掩膜版生产过程中的污染物监测方法， 其特 征在于， 包括： 获得当前生产工序信息； 根据所述当前生产工序信 息在工序污染物数据库进行工序匹配， 确定工序污染物信 息 集； 基于所述工序污染物信息集进行污染物特征分析， 得到污染物监测特征、 监测手段信 息； 根据所述监测手段信息对生产工序过程进行监测， 获得监测信息， 并基于所述污染物 监测特征对所述 监测信息进行遍历， 确定监测结果； 当所述监测结果存在污染物时， 且污染物满足污染物设定要求时， 根据所述监测结果 生成提醒信息； 当未达到污染物设定要求 时， 将所述监测结果、 所述当前生产工序信 息录入生产链中， 所述生产链为 根据生产工序过程构建的生产数据链； 基于所述生产链进行生产全过程污染物影响预测， 当存在污染物影响时， 生成污染监 测提醒信息 。 2.如权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 获得历史加工检验数据库； 根据所述历史加工检验数据库进行缺陷案例提取， 获得缺陷案例集； 根据所述缺陷案例集进行缺陷特征提取， 得到缺陷特征信息， 从所述缺陷特征信息中 筛选污染物缺陷特 征； 根据所述污染物缺陷特征与生产加工工序进行缺陷特征匹配分析， 确定污染物 ‑工序 映射关系； 将所有污染物 ‑工序映射关系进行整合， 构建所述工序污染物数据库。 3.如权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述监测手段信 息包括： 图像监测、 检测仪监 测， 当所述监测手段信息为图像监测时， 通过图像采集设备对生产加工件进行多角度图像 采集， 所述 监测信息为多角度图像集； 基于所述污染物监测特 征进行卷积网络模型训练， 获得图像识别模型； 将所述多角度图像集输入所述图像识别模型中， 获得污染物识别结果， 将所述污染物 识别结果作为所述 监测结果。 4.如权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述通过图像采集设备对生产加工件进行多 角度图像采集， 还 包括： 在预设光线条件下对生产加工件进行旋转， 通过图像采集设备对生产加工件进行旋转 多角度采集， 获得视频信息； 对所述视频信息进行 逐帧提取， 获得画面 集； 根据所述画面 集进行帧时间顺序排序。 5.如权利要求3所述的方法， 其特征在于， 将所述多角度图像集输入所述图像识别模型 中之前， 包括： 对所述多角度图像集进行 滤波处理， 获得滤波图像集； 对所述滤波图像集进行分解， 获得图像细节层； 通过金字塔分层滤波处 理方法对所述图像细节层进行处 理。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115310730 A 26.如权利要求1所述的方法， 其特征在于， 当所述监测结果不存在污染物时， 将所述监 测结果、 所述当前生产工序信息 录入生产链中， 包括： 获得所述生产工序过程， 基于所述生产工序 过程的先后顺序， 构建生产链， 各生产工序 作为所述 生产链节点； 利用所述当前生产工序信息与所述生产链节点进行工序匹配， 确定匹配生产链节点， 将所述监测结果与所述匹配生产链 节点进行关联。 7.如权利要求6所述的方法， 其特征在于， 基于所述生产链进行生产全过程污染物影响 预测， 包括： 基于所述生产链、 所述生产链节点的监测结果、 工序对加工件的状态变化， 构建马尔可 夫链模型； 通过所述马尔可 夫链模型对出现污染物影响的概 率进行预测； 根据预测得到的污染概率， 确定工序节点信息， 基于所述工序节点信息生成所述污染 监测提醒信息 。 8.一种掩膜版生产过程中的污染物监测系统， 其特 征在于， 所述系统包括： 工序获得 单元， 用于获得当前生产工序信息； 污染物信 息确定单元， 用于根据所述当前生产工序信 息在工序污染物数据库进行工序 匹配， 确定 工序污染物信息集； 监测特征分析单元， 用于基于所述工序污染物信息集进行污染物特征分析， 得到污染 物监测特 征、 监测手段信息； 监测处理单元， 用于根据 所述监测手段信 息对生产工序 过程进行监测， 获得监测信 息， 并基于所述污染物监测特 征对所述 监测信息进行遍历， 确定监测结果； 工序污染提醒单元， 用于当所述监测结果存在污染物时， 且污染物满足污染物设定要 求时， 根据所述 监测结果 生成提醒信息； 全生产工序分析单元， 用于当未达到污染物设定要求 时， 将所述监测结果、 所述当前生 产工序信息 录入生产链中， 所述 生产链为 根据生产工序过程构建的生产数据链； 全过程污染预测单元， 用于基于所述生产链进行生产全过程污染物影响预测， 当存在 污染物影响时， 生成污染监测提醒信息 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115310730 A 3