ICS 21.14 CCS J22 团体 标准 T/QGCML 1407—2023 半导体光伏制造用双套管密封装置 Double sleeve sealing device for semiconductor photovoltaic manufacturing 2023 - 09 - 16发布 2023 - 10 - 01实施 全国城市工业品贸易中心联合会 发布 全国团体标准信息平台 T/QGCML 1407 —2023 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 构成与原理 ................................ ................................ ......... 1 5 技术要求 ................................ ................................ ........... 2 6 试验方法 ................................ ................................ ........... 3 7 检验规则 ................................ ................................ ........... 3 8 标志、包装、运输及贮存 ................................ ............................. 4 全国团体标准信息平台 T/QGCML 1407 —2023 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国城市工业品贸易中心联合会提出并归口。 本文件起草单位： 武汉国伏科技有限公司 、武汉安捷测网络营销有限公司 、武汉阙途科技有限公司 。 本文件主要起草人： 张国柱、郑蔚、刘忠华、刘媛媛。 全国团体标准信息平台 T/QGCML 1407 —2023 1 半导体光伏制造用双套管密封装置 1 范围 本文件规定了 半导体光伏制造用双套管密封装置 的术语和定义、 构成及原理 、 技术要求、 试验方法、 检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于 半导体光伏制造用双套管密封装置 的生产及检验。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 1184 形状和位置公差未注公差值 GB 6388 运输包装收发货标志 GB/T 14211 机械密封试验方法 JB/T 4127.1 机械密封 第1部分：技术条件 JB/T 7369 机械密封端面平面度检验方法 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 构成与原理 4.1 装置构成 装置构成图如图 1所示，主要有以下零部件构成： —— 1、外管体； —— 2、内管体； —— 3、密封环； —— 4、外环套； —— 5、连接块； —— 6、内套环； —— 7、螺纹推杆； —— 8、弧形槽； —— 9、挤压弹簧； —— 10、第一弧形块； —— 11、第二弧形块； —— 12、密封垫； —— 13、旋钮； —— 14、滑槽； —— 15、螺纹杆； —— 16、滑块。 全国团体标准信息平台 T/QGCML 1407 —2023 2 图1 装置构成图 4.2 原理 半导体光伏用双套管密封装置通过设有的密封环便于相邻两个双套管的连接， 并通过密封环设有的 外套环和内套环，通过旋钮的转动带动螺纹杆的转动，通过螺纹杆的转动带动第二弧形块的升降，使第 二弧形块与内管体内壁紧密接触，有效保证内管体与外管体连接处的密封性。 5 技术要求 5.1 一般要求 5.1.1 装置外观不应有裂纹、崩边等缺陷，密封端面不应有夹杂。 5.1.2 装置各零部件、螺栓及螺母等紧固件应可靠牢固，无松动，不应因震动而脱落。 5.1.3 装置应运转正常、平稳、无异响。 5.1.4 装置应按审定的技术文件制造。 全国团体标准信息平台 T/QGCML 1407 —2023 3 5.2 基本参数 —— 密封腔压力： 0Mpa～10Mpa； —— 密封腔温度： ﹣20℃～150℃； —— 轴（或轴套）外径： 10mm～120mm； —— 线速度：≤ 30m/s。 5.3 尺寸公差 5.3.1 密封端面平面度公差应不大于 0.0009mm ； 硬质材料密封端面表面粗糙度值 Ra应不大于 0.2μm， 软质材料密封端面表面粗糙度值 Ra应不大于 0.4μm。 5.3.2 静止环和旋转环的密封端面对与辅助密封圈接触的端面的平行度应符合 GB/T 1184 的7级精度 要求。 5.3.3 静止环和旋转环与辅助密封圈接触部位的表面粗糙度值 Ra应不大于 1.6μm，外圆或内孔尺寸 公差为h8或H8。 5.3.4 静止环密封端面对与静止环辅助密封圈接触的外圆的垂直度、旋转环密封端面对与旋转环辅助 密封圈接触的内孔的垂直度，均应符合 GB/T 1184的7级精度要求。 5.3.5 弹簧内径、 外径 、自由高度、工作压力、弹簧中心线与两端面垂直度等公差值应符合 JB/T 11107 的规定，对于多弹簧机械密封，同一套机械密封中个弹簧之间的自由高度差不大于 0.5mm。 5.4 性能要求 5.4.1 泄漏量 应符合JB/T 4127.1 的规定。 5.4.2 磨损量 应符合JB/T 4127.1 的规定。 6 试验方法 6.1 外观 采用目测法对装置的外观进行检查 。 6.2 密封试验 按GB/T 14211的规定进行静压试验。 6.3 尺寸公差 密封端平面度按 JB/T 7369 的规定进行；表面粗糙度用粗糙度测量仪测量。 6.4 泄漏量 按GB/T 14211的规定进行。 6.5 磨损量 按GB/T 14211 的规定进行 。 7 检验规则 7.1 检验分类 分为出厂检验和型式检验。 7.2 出厂检验 产品出厂需本厂质检部门检验，检验合格后附合格证方可出厂，检验项目符合表 1规定。 全国团体标准信息平台 T/QGCML 14 07—2023 4 表1 检验项目 项目 出厂检验 型式检验 外观检验 √ √ 平面度 √ √ 粗糙度 √ √ 平行度 √ √ 尺寸公差 √ √ 静压试验 - √ 泄漏量 - √ 磨损量 - √ “√”为必检项目，“ -”为不检项目 7.3 型式检验 7.3.1 常规情况下型式检验一般一年一次，型式检验项目符合表 1内容。 7.3.2 有下列情况之一时，也应进行型式检验： a) 新产品或老产品转厂生产时； b) 正式生产的产品在结构、材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时； c) 产品停产 1年以上，重新恢复生产时； d) 出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时； e) 国家有关部门提出进行型式检验的要求时。 7.4 判定规则 7.4.1 出厂检验 检验项目 全部符合本文件要求时出厂检验判为合格，有一项不符合的则判为不合格 。 7.4.2 型式检验 型式检验 项目符合本文件规定时则判定该产品合格，若有不符合规定的则判为型式检验不合格 。 8 标志、包装、运输及贮存 8.1 标志 产品标志至少应注明以下内容： —— 产品名称； —— 型号； —— 制造厂； —— 生产日期； —— 合格证等。 8.2 包装 装置的包装贮存图示标志和运输包装收发标志应按 GB/T 191 和GB 6388执行。 8.3 运输及贮存 装置在运输、装卸过程中应轻装轻卸，不应随意抛掷；贮存时需放置在干燥 、清洁的仓库内 。 全国团体标准信息平台 T/QGCML 1407 —2023 5 全国团体标准信息平台