ICS71.080.99 CCSG15 中华人民共和国国家标准 GB/T47631—2026 光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜 测试方法 Opticalfunctionalfilms—Scanningmicroscopetestmethodsforapparentquality 2026-05-25发布 2026-12-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国石油和化学工业联合会提出。 本文件由全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会(SAC/TC431)归口。 本文件起草单位:中国乐凯集团有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、中国科学院理化技术研究 所、宁波激智科技股份有限公司、江阴华美光电科技有限公司、安徽省产品质量监督检验研究院。 本文件主要起草人:夏江南、高建辉、周迪、田坤、孙璐阳、刘世军、齐海潮、刘玉磊、王上丹、孙晶晶、 徐倩倩、周树云、余洋、姚帮本、丁燕。 ⅠGB/T47631—2026光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜 测试方法 警告:本文件符合所有关于使用高压和产生激光设备的正常和可接受预防措施。 1 范围 本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微镜(CLSM),对光学功能薄膜产品 表观质量的检测方法。 本文件适用于光学功能薄膜。 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 膜内点 inclusion 基体中的颗粒。 3.2 膜外点 surfaceparticle 超过3/4的体积在表面上的颗粒。 3.3 凹坑 pit 基体表面出现的小而尖锐、近似圆形的凹陷。 3.4 划伤 scratch 基体表面上的一维缺陷。 3.5 沟槽 groove 基体表面上具有深度和宽度的表面二维缺陷。 4 测试原理 4.1 SEM利用电子束与样品的相互作用,通过电子光学系统、信号检测与处理系统实现高分辨率的微 观形貌成像。 4.2 CLSM利用单色激光扫描束经过照明针孔形成点光源,对样品内焦平面上的每一点进行扫描,样 品上的被照射点在检测器的检测针孔处成像,由检测针孔后的光电倍增管逐点或逐线接收,迅速在计算 1GB/T47631—2026机监视器屏幕上形成荧光图像,照明针孔与检测针孔相对于物镜焦平面是共轭的。 4.3 SEM和CLSM分辨率与精度对比:SEM用来观测纳米级弊病点,CLSM用来观测亚微米级弊 病点。 4.4 本文件采用SEM和CLSM,对光学功能薄膜表观出现的膜内点、膜外点、凹坑、划伤、沟槽等弊病 进行检测。 5 仪器 5.1 SEM 5.1.1 SEM的分辨率优于50nm。 5.1.2 对光学功能薄膜样品分析时测试参数如下:加速电压0.1kV~20kV;工作距离5mm~60mm; 样品倾斜角-15°~60°。 5.2 CLSM 5.2.1 CLSM的半导体激光波长为661nm,分辨率优于500nm,300mm晶片载物台。 5.2.2 具备3D测量功能。 6 环境条件与校准 6.1 环境条件 测试设备应放置在稳定的实验室工作台上,试验环境应调节至所需的测试温度和相对湿度。除非 特定产品最终用途要求不同的条件,否则SEM应使用(20±5)℃的温度和小于70%的相对湿度(无冷 凝)进行测试。CLSM应使用(20±5)℃的温度和小于20%或大于80%的相对湿度(无冷凝)进行测试。 6.2 校准 使用标准实验室指南和制造商建议定期校准仪器。 7 试验步骤 7.1 SEM法 对光学功能薄膜样品分析时,SEM的试验过程如下: a) 取最小尺寸为2mm×2mm的样品安装在样品台上,非导电样品需进行离子溅射仪喷镀,将 其放入SEM样品仓,抽真空; b) 当“ON”键可以操作时,激活电子束; c) 移动样品,聚焦在样品弊病区域,应避免变形; d) 调节放大倍数,对图像进行聚焦、去像散,最终获得清晰的图像; e) 记录图像; f) 关闭SEM电子束,并在样品仓取出样品。 7.2 CLSM法 对光学功能薄膜样品分析时,CLSM的试验过程如下: a) 取最大尺寸为70mm×70mm的样品,样品制作时应清洁、完整; 2GB/T47631—2026b) 打开控制器、测量头和控制用计算机的电源,确保工作时仪器已开启30min以上; c) 启动观察软件,初始化(返回到初始位置)镜头位置; d) 将制作好的样品放置载物台上压紧固定; e) 信息采集:在最低倍镜下通过粗调调整样片的清晰度,随后手动调节载物台至样品弊病区 域,调节物镜放大倍数进行对焦,最终获得样片清晰的二维及三维图。 8 结果分析 8.1 SEM进行二维的数据分析。 8.2 CLSM打开系统分析软件,进行二维及三维图的数据分析,包括尺寸、表面粗糙度、表面形貌等。 数据处理结束,保存并导出至电子表格。 8.3 图像中的弊病点可能出现膜内点、膜外点、凹坑、划伤、沟槽中的一种情况,也可能同时出现两种以 上的任意情况,例如:膜内点与凹坑,膜内点、膜外点与凹坑,膜内点、膜外点、凹坑与划伤,膜内点、膜外 点、凹坑、划伤、沟槽等。参见附录A。 9 试验报告 试验报告应含有以下信息: a) 相关照片应包括样品名称、测试日期、电压、放大倍率和标尺; b) 设备制造商和型号; c) 任何与本文件不一致的内容应被记录并详细描述; d) 测试数据和结果描述。 3GB/T47631—2026附 录 A (资料性) SEM和CLSM采集的弊病点样本图 SEM和CLSM采集的膜内点、膜外点、凹坑、划伤和沟槽等弊病点样品图见图A.1~图A.10。 图A.1 SEM采集的膜内点[聚对苯二甲酸乙二醇(PET)膜,工作距离(WD)=10mm,15kV, 样品倾斜角0°]样本 图A.2 CLSM采集的膜内点(PET膜,样品倾斜角0°)样本 4GB/T47631—2026