ICS 71.100.20 CCS L 85 13 河北省 地方 标准 DB 13/T 6136—2025 1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定 色谱法 2025 - 05 - 27发布 2025 - 06 - 03实施 河北省市场监督管理局 发布 DB 13/T 6136 —2025 I 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由邯郸市市场监督管理局提出。 本文件起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司。 本文件主要起草人：郑秋艳、赵丙倩、柳彤、张净普、李帅楠、魏晓娟、王蒙蒙、陈琛。DB 13/T 6136 —2025 1 1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定 色谱法 1 范围 本文件规定了电子工业用气体 1.25%氪气/氖气混合气中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设 备、样品、测定步骤及结果处理等。 本文件适用于电子工业用气体 1.25%氪气/氖气混合气中氪气、氧气 +氩气、氮气、总烃（以甲烷 计）、一氧化碳和二氧化碳的检测。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的 规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用 文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单） 适用于本文件。 GB/T 4844 -2011 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T 30431 -2020 实验室气相色谱仪 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 样品 1.25%氪气/氖气混合气样品质量应符合表 1的要求。 表1 1.25%氪气/氖气混合气的技术指标 项目 指标要求 氪（Kr）含量（体积分数） ， 10-2 1.25±0.05 氧+氩 (O2+Ar)含量（体积分数） ， 10-6 ≤0.10 氮(N2)含量（体积分数） ， 10-6 ≤0.20 总烃（以甲烷计）含量（体积分数） ， 10-6 ≤0.10 一氧化碳（ CO）含量（体积分数） ， 10-6 ≤0.10 二氧化碳（ CO2）含量（体积分数） ， 10-6 ≤0.10 5 氪气含量的测定 原理 采用配备热导检测器 (TCD)的气相色谱仪（ GB/T 30431 -2020）测定氪气含量。当样品气经色谱 柱分离后进入热导池，根据氪气与其它组分的保留时间不同，对氪气定性 ，根据输出的电信号与样 品浓度呈正比的关系，对氪气定量。 试剂或材料 载气：高纯氦气，纯度≥ 99.999×10-2（体积分数）； 氖中氪气标准气体：含量为（ 1.25 ±0.05）%（体积分数）； DB 13/T 6136 —2025 2 仪器设备 配备热导检测器 (TCD)的气相色谱仪。仪器对氪气含量的检测限不大于 5×10-6（体积分数）。 色谱柱：长 5 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度为（ 40～60）目的5A分子筛不锈钢色谱柱或其他 等效色谱柱。 测定步骤 5.4.1 测试前准备 按仪器操作规程启动仪器，并保证管路气密性。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后 即可测定。 测定推荐条件如下： a) 载气流速： 30mL/min； b) 进样口温度： 60℃； c) 色谱柱温度： 60℃； d) 检测器温度： 100℃； e) 桥电流： 120 mA； f) 进样体积： 1 mL。 5.4.2 标准气体测定 标准气应选用有证标准物质认定证书的标准气体。在符合规定的测定条件下定体积进样，待测 定组分峰出完后，测其峰面积，取平行测定两次峰面积的算术平均值为定量标准，两次峰面积的相 对偏差应不大于 5%。 5.4.3 样品气体测定 将待测样品气用取样阀及取 样管与仪器进样阀入口连接，充分置换取样阀及其管道。按仪器操 作规程，以定标时同样的测定条件定体积切换进待测样品气。平行测定待测样品气至少两次，取其 平均值。 结果处理 氪气的含量按公式（ 1）计算： )1( ΦΦ 11 s11  s 式中： 1Φ ——样品气体中氪气的含量（体积分数， 10-2）； s1Φ ——标准气体中氪气的含量（体积分数， 10-2）； 1 ——样品气体中氪气的峰面积； 1s ——标准气体中氪气的峰面积。 6 氧气+氩气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳和二氧化碳含量的测定 原理 采用配备气路切换装置和氦离子化检测器的气相色谱仪（ GB/T 28726 ）对各组分分析。当样品 气体经色谱柱分离后进入氦离子化检测器时，与亚稳态的氦发生非弹性碰撞而电离，在检测器的收 集极输出相应的微电流，微电流经放大器放大后的电流讯号在一定范围内与组分含量成正比。将样 品气体的色谱峰与标准气体进行比较，根据保留时间定性，讯号大小定量，从而测定样品气体中各 组分的含量。 试剂或材料 载气：高纯氦气，纯度≥ 99.999 ×10-2（体积分数）； DB 13/T 6136 —2025 3 标准气体： 氦中氧气标准气体，含量为 1×10-6（体积分数）； 氦中氮气标准气体，含量为 1×10-6（体积分数）； 氦中甲烷标准气体，含量为 1×10-6（体积分数）； 氦中一氧化碳标准气体，含量为 1×10-6（体积分数）； 氦中二氧化碳标准气体，含量为 1×10-6（体积分数）。 仪器设备 配备气路切换装置（见附录 A）和氦离子化检测器（ PDD）的气相色谱仪，仪器对氧气 +氩气、氮 气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检测限不大于 0.01×10-6（体积分数）。 a) 色谱柱 色谱柱1：长2.0 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度为（ 40～60）目的5A分子筛不锈钢色谱柱或 其他等效色谱柱； 色谱柱2：长2.0 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度 为（40～60）目的5A分子筛不锈钢色谱柱或 其他等效色谱柱； 色谱柱3：长4.0 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度为（ 60～80）目的Porapak Q （乙烯苯乙烯和 二乙烯基苯的共聚物）不锈钢色谱柱或其他等效色谱柱； 色谱柱4：长1.18 m，内径6mm，内部装填颗粒度为 30目的Pt、Pd贵金属不锈钢色谱柱或其他等 效色谱柱。 b) 仪器气路分析流程见附录 A。 测定步骤 6.4.1 测定前准备 按仪器操作规程启动仪器，并保证管路气密性。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后 即可测定。 测定推荐条件如下： a) 载气：高纯氦气； b) 载气流速： 30 mL/min ； c) 柱温：色谱柱 1：50℃；色谱柱 2：55℃；色谱柱 3：60℃； d) 检测器温度： 180 ºC； e) 进样体积： 0.5 mL。 6.4.2 标准气体测定 标准气应选用有证标准物质认定证书的标准气体。在符合规定的测定条件下定体积进样，待测 定组分峰出完后，测其峰面积，取平行测定两次峰面积的算术平均值为定量标准，两次峰面积的相 对偏差应不大于 5%。 6.4.3 样品气体测定 将待测样品气用取样阀及取样管与仪器进样阀入口连接，充分置换取样阀及其管道。按仪器操 作规程，以定标时同样的测定条件定体积切换进待测样品气。平行测定 待测样品气至少两次，取其 平均值。 结果处理 按公式（ 2）分别计算氧气 +氩气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳的含量。 )2( ΦΦ  sii siiAA 式中： iΦ ——样品气中待测组分 i的含量（体积分数， 10-6）； siΦ ——标准气中待测组分 i的含量（体积分数， 10-6）； DB 13/T 6136 —2025 4 iA ——样品气中待测组分 i的峰面积； siA ——标准气中待测组分 i的峰面积； I ——代表待测组分。 7 精密度和准确度 1.25%氪气/氖气混合气中氪气的检测结果的相对标准偏差不大于 5%； 1.25%氪气/氖气混合气中其他杂质（除氪气外）的检测结果的相对标准偏差不大于 10%。