(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123273 590.X (22)申请日 2021.12.23 (73)专利权人 无锡颂林达科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇 甘西路888号德邻工业园B3 -1厂房 (72)发明人 陆先锋　 (51)Int.Cl. F26B 11/18(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F26B 25/04(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种高效硅片烘干装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种高效硅片烘干装置， 属于烘干设备技术领域， 包括底座、 烘干箱、 热风 机、 夹持组件、 转动组件、 驱动组件和封闭件， 所 述烘干箱设置在底座的顶端， 所述热风机设有若 干个， 若干个所述热风机呈两两对称安装在烘干 箱的两侧， 所述转动组件设有多个， 多个转动组 件分别设置在烘干箱内， 所述夹持组件设有若干 个， 若干个夹持组件的数量与转动组件的数量相 同， 且每个夹持组件分别设置在每个转动组件 上， 所述驱动组件设置在底座内部， 且驱动组件 与每个转动组件 连接， 所述封闭件安装在烘干箱 的顶端， 本实用新型对硅片烘干时， 硅片 会转动， 使硅片的每个面都能够快速地接触到热风， 从而 能够更加快速地对硅片进行烘干， 且烘干得更加 全面。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 216644833 U 2022.05.31 CN 216644833 U 1.一种高效硅片烘干装置， 其特征在于， 包括底座(1)、 烘干箱(2)、 热风机(3)、 夹持组 件(4)、 转动组件(5)、 驱动组件(6)和封闭件(7)， 所述烘干箱(2)设置在底座(1)的顶端， 所 述热风机(3)设有若干个， 若干个所述热风机(3)呈两两对称安装在烘干箱(2)的两侧， 所述 转动组件(5)设有多个， 多个转动组件(5)分别设置在烘干箱(2)内， 所述夹持组件(4)设有 若干个， 若干个夹持组件(4)的数量与转动组件(5)的数量相同， 且每个夹持组件(4)分别设 置在每个转动组件(5)上， 并且每个夹持组件(4)均处于两个热风机(3)之间， 所述 驱动组件 (6)设置在底 座(1)内部， 且驱动组件(6)与每个转动组件(5)连接， 所述封闭件(7)安装在烘 干箱(2)的顶端。 2.根据权利要求1所述的一种高效硅片烘干装置， 其特征在于， 所述转动组件(5)包括 转动导轨(51)、 转动块(52)、 外壳(53)和转杆(54)， 所述转动导轨(51)安装在 烘干箱(2)内， 所述转动块(52)安装在转动导轨(51)上且与转动导轨(51)转动配合， 且转动块(52)的底端 穿过烘干箱(2)处于底 座(1)的内部， 所述转动块(52)的顶端与夹持组件(4)固定连接， 所述 外壳(53)固定安装在转动块(52)的底端上， 所述转杆(54)安装在外壳(53)的底端， 且转杆 (54)上设有第一 斜齿轮(5 5)， 所述第一 斜齿轮(5 5)与驱动组件(6)连接 。 3.根据权利要求2所述的一种高效硅片烘干装置， 其特征在于， 所述驱动组件(6)包括 驱动杆(61)、 支撑块(62)、 驱动电机(63)、 主动 块(64)和从动块(65)， 所述驱动杆(61)设置 在底座(1)的内部且处于第一斜齿轮(55)的下方， 驱动杆(61)上设有若干个第二斜齿轮 (611)， 每个第二斜齿轮(611)处于每个第一斜齿轮(55)的一侧， 并且每个第二斜齿轮(611) 与第一斜齿轮(55)啮合， 所述支撑块(62)设置在底 座(1)的侧壁上， 所述驱动电机(63)安装 在支撑块(62)的侧壁且其输出端穿过支撑块(62)， 所述主动块(64)安装在驱动电机(63)的 输出端上， 且主动块(64)上设有凸块(641)， 凸块(641)上设有主动杆， 所述 从动块(65)设置 在驱动杆(61)上， 且从动块(65)处于主动块(64)的旁侧， 所述从动块(65)上等距地设有四 处圆槽， 且每两个圆槽之间设有转动槽(6 6)， 并且每两个转动槽(6 6)之间的距离为九十度。 4.根据权利要求2所述的一种高效硅片烘干装置， 其特征在于， 所述夹持组件(4)包括 夹持架(41)、 滑块(42)、 夹持电缸(43)和挤压块(44)， 所述夹持架(41)固定安装在转动块 (52)的顶端上， 且夹持架(41)的两侧均设有弹簧架(411)， 每个弹簧架(411)内部均 设有复 位弹簧(412)， 所述滑 块(42)设有两个， 两个滑 块(42)对称安装在夹持架(41)上且处于弹簧 架(411)一侧， 并且每个滑块(42)与夹持架(41)滑动配合， 每个滑块(42)的一端均设有斜 面， 而每个滑 块(42)的另一端与复位弹簧(412)连接， 每个所述滑 块(42)的顶端上设有夹块 (421)， 所述夹持电缸(43)安装在外壳(53)的内部且其输出端依次穿过转动块(52)和夹持 架(41)， 所述挤压块(44)呈梯形设置且其两端分别与两个滑块(42)的斜面滑动配合， 并且 挤压块(4 4)的底端与夹持电缸(43)固定连接 。 5.根据权利要求4所述的一种高效硅片烘干装置， 其特征在于， 所述每个夹块(421)均 设有多个进风 孔(422)。 6.根据权利要求1所述的一种高效硅片烘干装置， 其特征在于， 所述封闭件(7)包括密 封滑轨(71)和密封板(72)， 所述密封滑轨(71)设有两个， 两个密封板(72)对称设置在烘干 箱(2)的顶端， 所述密封板(72)设置在两个密封滑轨(71)之间， 且密封板(72)与两个密封滑 轨(71)滑动配合， 所述密封 板(72)的一侧设有把手(73)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216644833 U 2一种高效硅片烘干装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及烘干设备技 术领域， 尤其涉及一种高效硅片烘干装置 。 背景技术 [0002]硅片是制作晶体管和集成电路的原 料。 一般是单晶硅的切片。 硅片， 是制作集成电 路的重要材料， 通过对硅片进行光刻、 离子注入等手段， 可以制成各种半导体器件。 用硅片 制成的芯片有着惊人 的运算能力。 科学技术的发展不断推动着半导体的发展。 自动化和计 算机等技术发展， 使硅片(集成电路)这种高技 术产品的造价已降到 十分低廉的程度。 [0003]硅片在生产过程中需要经过清洗工序， 但硅片清洗过后， 需要对其表面进行烘干， 但现有技术中对硅片烘干的过程中， 硅片一般平躺在烘干区域， 导致烘干时间长， 且烘干不 全面。 实用新型内容 [0004]本实用新型实施例提供一种高效硅片烘干装置， 以解决现有技术中对硅片烘干 时， 硅片一般平躺在烘干区域， 导 致烘干时间长， 且烘干不全面的技 术问题。 [0005]本实用新型实施例采用下述技术方案： 包括底座、 烘干箱、 热风机、 夹持组件、 转动 组件、 驱动组件和封闭件， 所述烘干箱设置在底座的顶端， 所述热风机设有若干个， 若干个 所述热风机呈两两对称安装在烘干箱的两侧， 所述转动组件设有多个， 多个转动组件分别 设置在烘干箱内， 所述夹持组件设有若干个， 若干个夹持组件的数量与转动组件的数量相 同， 且每个夹持组件分别 设置在每个转动组件上， 并且每个夹持组件均处于两个热风机之 间， 所述驱动组件设置在底座内部， 且驱动组件与每个转动组件连接， 所述封闭件安装在烘 干箱的顶端。 [0006]进一步的， 所述转动组件包括转动导轨、 转动块、 外壳和转杆， 所述转动导轨安装 在烘干箱内， 所述转动块安装在转动导轨上且与转动导轨转动配合， 且转动块的底端穿过 烘干箱处于底座的内部， 所述转动块的顶端与夹持组件固定连接， 所述外壳固定安装在转 动块的底端 上， 所述转杆安装在外壳的底端， 且转杆上设有第一斜齿轮， 所述第一斜齿轮与 驱动组件连接 。 [0007]进一步的， 所述驱动组件包括驱动杆、 支撑块、 驱动电机、 主动块和从动块， 所述驱 动杆设置在底座的内部且处于第一斜齿轮的下方， 驱动杆上设有若干个第二斜齿轮， 每个 第二斜齿轮处于每个第一斜齿轮的一侧， 并且每个第二斜齿轮与第一斜齿轮啮合， 所述支 撑块设置在底座的侧 壁上， 所述驱动电机安装在支撑块的侧 壁且其输出端穿过支撑块， 所 述主动块安装在驱动电机的输出端上， 且主动块上设有凸块， 凸块上设有主动杆， 所述 从动 块设置在驱动杆上， 且从动块处于主动块的旁侧， 所述从动块上等距地设有四处 圆槽， 且每 两个圆槽之间设有转动槽， 并且每两个转动槽之间的距离为九十度。 [0008]进一步的， 所述夹持组件包括夹持架、 滑块、 夹持电缸和挤压块， 所述夹持架固定 安装在转动块的顶端 上， 且夹持架的两侧均设有弹簧架， 每个弹簧架内部均设有复位 弹簧，说　明　书 1/4 页 3 CN 216644833 U 3