(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123070452.1 (22)申请日 2021.12.08 (73)专利权人 江苏诺邦环保科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区蠡园开 发区标准厂房A4五层东 (72)发明人 陶玉珊　 (74)专利代理 机构 无锡嘉驰知识产权代理事务 所(普通合伙) 3238 8 专利代理师 贾传美 (51)Int.Cl. B01D 46/88(2022.01) B01D 46/56(2022.01) B01D 46/64(2022.01) B01D 46/10(2006.01) B01D 46/30(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体行业废气处 理装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体行业废气处 理装置， 涉及工业废气处理技术领域， 该半导体 行业废气处理装置， 包括： 过滤箱， 其内部 形成供 废气流通处理的腔室； 至少一组过滤板， 其沿过 滤箱上设置的安装槽垂直插装在过滤箱的腔室 内， 且过滤板边缘抵接在腔室的壁面上， 过滤板 由安装架以及固定在安装架底部双层叠加以过 滤水分和粉尘的孔板和过滤棉组成， 且过滤棉可 拆卸安装在孔板上； 以及， 箱门， 其设置在过滤板 安装入口位置。 本实用新型通过设置过滤箱、 过 滤板和箱门， 腔室空间大、 无死角、 清洁入口大、 过滤板可拆卸、 孔板结构简单且 过滤棉可拆卸更 换， 过滤棉拆卸、 安装操作方便， 解决了用于废气 粉尘过滤的过滤器结构过于复杂， 不易清洗、 更 换的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216677499 U 2022.06.07 CN 216677499 U 1.一种半导体行业废气处理装置， 其特征在于， 包括： 过滤箱(1)， 其内部形成供废气流 通处理的腔室； 至少一组过滤板(2)， 其沿过滤箱(1)上设置 的安装槽(11)垂直插装在过滤箱(1)的腔 室内， 且过滤板(2)边缘抵接在腔室 的壁面上， 所述过滤板(2)由安装架(21)以及固定在安 装架(21)底部双层叠加以过滤水分和粉尘的孔板(22)和过滤棉(23)组成， 且过滤棉(23)可 拆卸安装在孔板(2 2)上； 以及， 箱门(3)， 其设置在过 滤板(2)安装 入口位置， 以密封过 滤箱(1)和过 滤板(2)。 2.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置， 其特征在于： 所述孔板(22)为 波纹板， 其表面设置若干 透孔， 所述 孔板(22)两侧弯折形成卡口。 3.根据权利要求2所述的一种半导体行业废气处理装置， 其特征在于： 所述过滤棉(23) 为波纹板， 其与孔板(2 2)贴合安装， 且过 滤棉(23)两侧插接在卡口内安装。 4.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置， 其特征在于： 所述安装架(21) 为“工”型， 所述安装架(21)与安装槽(11)接触面上设置垫板(4)密封， 所述安装槽(11)槽壁 两侧均设置密封 垫(5)与安装架(21)密封插 装。 5.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置， 其特征在于： 所述过滤板(2) 沿废气流 通方向可间距设置多组。 6.根据权利要求1所述的一种半导体行业废气处理装置， 其特征在于： 所述箱门(3)通 过橡胶密封圈(31)与过滤箱(1)入口形成密封， 箱门(3)通过橡胶密封板(32)与过滤板(2) 形成密封 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216677499 U 2一种半导体 行业废气处理装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及工业废气处 理技术领域， 具体为 一种半导体行业废气处 理装置。 背景技术 [0002]半导体制造过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气， 这样的气体排放到空气中 会污染空气， 危害人体的健康， 对于工业废气必须进行净化处理才可以排放， 通常， 经过高 温处理、 水 处理、 冷却处理的气体， 在其排放至外界大气前， 还需要对气 体所含的粉尘过滤， 以将该气体中所包 含的水分子及粉尘除去。 [0003]在现有技术中， 用于气体中水分子及粉尘过滤的过滤装置， 是需要定期处理和更 换处理的， 然而， 却存在过 滤器结构复杂， 不 易清洗、 更 换的缺点。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种半导体行业废气处理装置， 改善了 用于废气粉尘过 滤的过滤器结构过于复杂， 不 易清洗、 更 换的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种半导体行业废气处理装置， 包括： 过滤箱， 其内部形成供废气流 通处理的腔室； [0006]至少一组过滤板， 其沿过滤箱上设置 的安装槽垂直插装在过滤箱的腔室内， 且过 滤板边缘抵接在腔室的壁面上， 所述过滤板由安装架以及固定在安装架底部双层叠加以过 滤水分和粉尘的孔板和过 滤棉组成， 且过 滤棉可拆卸安装在孔板上； 以及， [0007]箱门， 其设置在过 滤板安装 入口位置， 以密封过 滤箱和过 滤板。 [0008]优选的， 所述 孔板为波纹板， 其表面设置若干 透孔， 所述 孔板两侧弯折形成卡口。 [0009]优选的， 所述过滤棉为波纹板， 其与孔板贴合安装， 且过滤棉两侧插接在卡口内安 装。 [0010]优选的， 所述安装架为 “工”型， 所述安装架与安装槽接触面上设置垫板密封， 所述 安装槽槽壁两侧均设置密封 垫与安装架密封插 装。 [0011]优选的， 所述过 滤板沿废气流 通方向可间距设置多组。 [0012]优选的， 所述箱门通过橡胶密封圈与过滤箱入口形成密封， 箱门通过橡胶密封板 与过滤板形成密封 。 [0013]本实用新型提供了一种半导体行业废气处 理装置， 具 备以下有益效果： [0014]本实用新型通过设置过滤箱、 过滤板和箱门， 在过滤箱腔室内， 空间大， 无其他隔 层设置， 无死角， 便于清洁， 气体流通无阻， 箱门打开即可清洁， 清洁入口大， 方便操作， 过滤 板可拆卸， 过滤板拆卸清洁更便利， 同时过滤板的孔板无需更换， 孔板结构简单， 方便清洁， 无死角， 过滤棉可拆卸更 换， 直接插 装， 拆卸、 安装操作方便 。 附图说明 [0015]图1为本实用新型展开图；说　明　书 1/3 页 3 CN 216677499 U 3