(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221904215.2 (22)申请日 2022.07.22 (73)专利权人 江苏虎虎机电科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道228号天安智慧城3 -1208 (72)发明人 肖玉军　 (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. F17D 1/02(2006.01) F17D 3/01(2006.01) F17D 5/00(2006.01) B01D 53/04(2006.01) (54)实用新型名称 大流量特殊气体供应系统 (57)摘要 本实用新型公开了大流量特殊气体供应系 统， 包括供应罐， 所述供应罐内部的底端设置有 压力传感器， 所述供应罐的顶部设置有警报器， 所述警报器的一侧设置有泄压口， 所述泄压口上 设置有控制阀， 所述供应罐的一侧设置有底板， 所述底板的顶部设置有净化箱， 所述净化箱的两 侧内壁皆横向排布设置有限位座， 所述限位座的 内侧分别设置有过滤网和活性炭吸附膜。 该大流 量特殊气体供应系统， 可通过设置在供应罐内部 的压力传感器对气压进行实时监测， 当供应罐内 部的气压过大时， 可通过连锁控制警报器发出警 报， 方便提醒相关人员及时采取措施， 同时连锁 打开控制阀通过泄压口进行 泄压， 避免供应罐内 部压力过大导致爆炸， 大大提高了输送供应的整 体安全性。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217978375 U 2022.12.06 CN 217978375 U 1.大流量特殊气体供应系统， 包括供应罐(1)， 其特征在于： 所述供应罐(1)内部的底端 设置有压力 传感器(16)， 所述供应罐(1)的顶部设置有警报器(2)， 所述 警报器(2)的一侧设 置有泄压口(3)， 所述泄压口(3)上设置有控制阀(4)， 所述供应罐(1)的一侧设置有底板 (9)， 所述底板(9)的顶部设置有净化箱(6)， 所述净化箱(6)的两侧内壁皆横向排布设置有 限位座(18)， 所述限位座(18)的内侧分别设置有过滤网(17)和活性炭吸附膜(19)， 所述净 化箱(6)的一侧设置有输送泵(10)。 2.根据权利要求1所述的大流量特殊气体供应系统， 其特征在于： 所述供应罐(1)的底 部一侧设置有连接管(15)， 所述输送泵(10)的输出端设置有导送口(11)， 且净化箱(6)、 供 应罐(1)和输送泵(10)之间通过 管道(5)连接 。 3.根据权利要求1所述的大流量特殊气体供应系统， 其特征在于： 所述净化箱(6)的顶 部设置有密封 盖(8)， 且密封 盖(8)的顶部固定安装有拉环(20)。 4.根据权利要求3所述的大流量特殊气体供应系统， 其特征在于： 所述密封盖(8)的两 侧表面皆设置有锁扣(7)， 且锁扣(7)对应的净化箱(6)表面设置有锁座(12)。 5.根据权利要求1所述的大流量特殊气体供应系统， 其特征在于： 所述供应罐(1)的一 侧表面固定安装有蓄电池(13)， 且蓄电池(13)的输出端通过导线与输送泵(10)、 压力传感 器(16)和警报器(2)的输入端电性连接 。 6.根据权利要求1所述的大流量特殊气体供应系统， 其特征在于： 所述供应罐(1)的一 侧表面固定安装有控制按钮(14)， 且控制按钮(14)的输出端通过导线与输送泵(10)、 压力 传感器(16)和警报器(2)的输入端电性连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217978375 U 2大流量特殊气体供应系统 技术领域 [0001]本实用新型 涉及特殊气体供应技 术领域， 具体为大流 量特殊气体供应系统。 背景技术 [0002]特殊气体为满足特定用途的气体， 包括单一气体或混合气体， 单一气体有259种， 其中电子气体115种， 有机气体63种， 无机气体35种， 卤碳素气体29种， 同位素气体17种， 特 殊气体需要通过专业的设备进行实时输送供应。 [0003]现有的特殊气体供应系统结构简单， 功能单一， 无法对实际输送过程中的供应罐 内部气压进行实时监测， 当气压过大时如果不及时处理容易发生爆炸， 大大降低了供应输 送整体的安全性， 同时输送过程中无法对气体进行实时过滤净化处理， 导致输送的气体清 洁度不佳。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供大流量特殊气体供应系统， 以解决上述背景技术中提 出的现有特殊气体供应系统结构简单， 功能单一， 无法对实际输送过程中的供应罐内部气 压进行实时监测， 当气压过大时如果不及时处理容易发生爆炸， 大大降低了供应输送整体 的安全性， 同时输送过程中无法对气体进行实时过滤净化处理， 导致输送的气体清洁度不 佳的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 大流量特殊气体供应系统， 包括 供应罐， 所述供应罐内部的底端设置有压力 传感器， 所述供应罐的顶部 设置有警报 器， 所述 警报器的一侧设置有泄压口， 所述泄压口上设置有控制阀， 所述供应罐的一侧设置有底板， 所述底板的顶部设置有净化箱， 所述净化箱的两侧内壁皆横向排布设置有限位座， 所述限 位座的内侧分别设置有过 滤网和活性炭吸附膜， 所述净化箱的一侧设置有输送泵。 [0006]优选的， 所述供应罐的底部一侧 设置有连接管， 所述输送泵的输出端设置有导送 口， 且净化箱、 供应罐和输送泵之间通过 管道连接 。 [0007]优选的， 所述净化箱的顶部设置有密封 盖， 且密封 盖的顶部固定安装有拉环。 [0008]优选的， 所述密封盖 的两侧表面皆设置有锁扣， 且锁扣对应的净化箱表面设置有 锁座。 [0009]优选的， 所述供应罐的一侧表面固定安装有蓄电池， 且蓄电池的输出端通过导线 与输送泵、 压力传感器和警报器的输入端电性连接 。 [0010]优选的， 所述供应罐的一侧表面固定安装有控制按钮， 且控制按钮的输出端通过 导线与输送泵、 压力传感器和警报器的输入端电性连接 。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0012]该大流量特殊气体供应系统， 在进行日常使用的过程中， 可通过设置在供应罐内 部的压力传感器对气压进行实时监测， 当供应罐内部的气压过大时， 可通过连锁控制警报 器进行发出警报， 方便提醒相关人员 及时采取措施， 同时连锁打开控制阀通过泄压口进行说　明　书 1/3 页 3 CN 217978375 U 3