(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222115535.6 (22)申请日 2022.08.11 (73)专利权人 艾生科 （江苏） 化工科技有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区浏阳河 路109号 (72)发明人 田相龙　周礼　袁学伟　张晓明　 (74)专利代理 机构 常州联正专利代理事务所 (普通合伙) 32546 专利代理师 曹燕媛 (51)Int.Cl. B01D 53/04(2006.01) B01D 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 吸附柱及用于高纯气体纯化的吸附装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种吸附柱及用 于高纯气 体纯化的吸附装置， 所述用于高纯气体纯化的吸 附装置包括原料罐、 进料泵、 汽化器、 冷凝器、 产 品罐以及吸附柱， 原料罐与进料泵相连， 进料泵 分别与汽化器、 吸附柱相连， 吸附柱为多个， 吸附 柱分别与汽化器、 冷凝器相连， 所述冷凝器与产 品罐相连。 本实用新型的吸附柱及吸附装置的所 有设备表面处理均达到电子级要求， 所有管道、 阀门、 仪表， 均达到电子级要 求， 满足高纯气体提 纯的要求， 有效控制高纯气体中金属离子含量， 可以灵活处理工程现场的不同状态的原料， 适用 性强， 功能性更强。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217909680 U 2022.11.29 CN 217909680 U 1.一种吸附柱， 其特征在于： 包括筒体、 法兰、 保温端盖、 吸附剂支撑板、 吸附剂装填口 及吸附剂卸料口， 所述筒体为柱状中空结构， 具有空腔， 筒体两端分别固定有法兰， 两法兰 外分别盖合有保温端盖， 所述吸附剂支撑板 分别设置于空腔两端， 并分别与两法兰相固定， 所述吸附剂装填口、 吸附剂卸料口设置于筒体外的两端， 且吸附剂装填口、 吸附剂卸料口与 空腔相连通。 2.根据权利要求1所述的吸附柱， 其特征在于： 两法兰上分别固定有与空腔相连通的气 体进料口、 气体出 料口， 所述气体进料口、 气体出 料口延伸至保温端盖 外。 3.根据权利要求1所述的吸附柱， 其特 征在于： 筒体外设置有与空腔相连通的测温口。 4.根据权利要求1所述的吸附柱， 其特征在于： 所述吸附剂支撑板通过支架与法兰相固 定。 5.一种用于高纯气体纯化的吸附装置， 其特征在于： 包括原料罐、 进料泵、 汽化器、 冷凝 器、 产品罐以及如权利要求1 ‑4任一项所述的吸附柱， 所述原料罐与进料泵相连， 所述进料 泵分别与汽化器、 吸附柱相连， 所述吸附柱 为多个， 吸附柱分别与汽化器、 冷凝器相连， 所述 冷凝器与产品罐相连。 6.根据权利要求5所述的用于 高纯气体纯化的吸附装置， 其特征在于： 还包括尾气冷却 器， 所述尾气冷却器分别与吸附柱相连。 7.根据权利要求5所述的用于 高纯气体纯化的吸附装置， 其特征在于： 多个吸附柱为串 联或并联。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217909680 U 2吸附柱及用于高纯气体纯化的吸附装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及高纯气体加工技术领域， 尤其涉及一种用于高纯气体纯化的吸附 柱以及具有该吸附柱的吸附装置 。 背景技术 [0002]高纯气体是指利用现代提纯技术能达到某个等级纯度的气体， 对于不同类别的气 体， 纯度指标不同， 如对氮、 氢、 氩、 氦， 纯度≥99.999％为高纯气体， 对氧气和碳氢化合物， 99.99％可称为高纯气， 高纯气体应用的领域很宽， 高纯氮、 氢、 氩、 氦可作为运载气和保护 气； 高纯气 体可作为配制混合气的底气 。 所以对于高纯气 体的净化技术要求越来越高。 高纯 气体中的杂质含量， 如水分、 杂质气体、 金属离 子等， 必须控制在一定含量以下。 [0003]目前， 高纯气体的吸附装置报道较少， 专利CN201940149U公开一种真空绝热式高 纯气体低 温吸附纯化设备， 该设备可以解决气体吸 附时吸附热对气体净化产生的影响， 并 提高吸附剂的纯化性能， 但是该设备不具备再生功能， 当吸附剂吸附饱和 后， 只能更换吸附 剂。 实用新型内容 [0004]为解决上述问题， 本实用新型提供一种吸附柱及用于高纯气体纯化的吸附装置， 可以用于高纯气体的吸附， 当原料是液体时， 也可用于液体 吸附， 并同时具备再生功能， 可 以连续操作， 也可间歇操作， 可操作性 强， 同时， 整套吸附装置的设备、 仪表、 阀门、 管道表 面 处理均可达 到电子级 要求， 可有效控制高纯气体金属离 子中含量。 [0005]本实用新型 是通过如下技 术方案实现的： [0006]本实用新型提供一种吸附柱， 包括筒体、 法兰、 保温端盖、 吸附剂支撑板、 吸附剂装 填口及吸附剂卸料 口， 所述筒体为柱状中空结构， 具有空腔， 筒体两端分别固定有法兰， 两 法兰外分别盖合有保温端盖， 所述吸 附剂支撑板分别设置于空腔两端， 并分别与两法兰相 固定， 所述吸附剂装填口、 吸附剂卸料 口设置于筒体外的两端， 且吸附剂装填口、 吸 附剂卸 料口与空腔相连通。 [0007]为了便于进气、 出气， 两法兰上分别固定有与空腔相连通的气体进料口、 气体出料 口， 所述气体进料口、 气体出 料口延伸至保温端盖 外。 [0008]为了便于实时检测筒体内的温度， 筒体外设置有与空腔相连通的测温口。 [0009]为了便于实现拆装， 所述吸附剂支撑 板通过支 架与法兰相固定 。 [0010]本实用新型还提供一种用于高纯气体纯化的吸附装置， 包括原料罐、 进料泵、 汽化 器、 冷凝器、 产品罐以及上述吸附柱， 所述原料罐与进 料泵相连， 所述进 料泵分别与汽化器、 吸附柱相连， 所述吸附柱为多个， 吸 附柱分别与汽化器、 冷凝器相连， 所述冷凝器与产品罐 相连。 [0011]进一步地， 为了便于收集及处理尾气， 还包括尾气冷却器， 所述尾气冷却器分别与 吸附柱相连。说　明　书 1/3 页 3 CN 217909680 U 3