style="width:11.67361in;height:6.01389in" /> 本文是学习GB-T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组
成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分
系统级以及系统级产品的密封性能测试。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 9445 无损检测 人员资格鉴定与认证
GB/T 12604.7 无损检测 术语 泄漏检测
GB/T 13966 分析仪器术语
GB/T 12604.7 和 GB/T 13966 中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
响应时间 response time
て
从示踪气体施加到漏孔进气端开始，到质谱仪输出指示(扣除本底值)达到最大变化值(扣除本底值
后的漏气信号值)的63%时所经历的时间。
注：单位为秒(s)。
3.2
清除时间 clear-up time
从漏孔进气端停止施加示踪气体开始，到四极质谱仪输出指示值(扣除本底值)下降至施加示踪气
体时的最大漏气信号值(扣除本底值)的37%时所经历的时间。
3.3
校准漏孔 standard leak
在规定条件(温度、压力)下，对一种规定气体提供已知流量的一种校准用漏孔。
3.4
正压校准漏孔 pressure leak
进气端压力高于一个大气压，出气端压力为一个大气压，对某种气体漏率已知的一种校准漏孔。
3.5
本底信号 background signal
在没有施加示踪气体时，因存在残留的示踪气体或其他会引起检漏元件响应的因素而使四极质谱
仪产生稳定或波动的输出信号。
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3.6
噪声 noise
在规定时间内测得的本底无规则的噪声最大变化量。
注：测试过程中出现的偶然脉冲不计在噪声内。
3.7
等待时间 waiting time
两次测试的间隔时间。
3.8
检漏灵敏度 leak testing sensitivity
Qemin
在具体的工作条件下，检漏系统所能检出的最小漏孔漏率。
3.9
示踪气体 tracer gas
在测试系统中，作用在被检测设备外表面通过漏孔进入设备或在设备内充入高于外界压力的特定
气体，该气体通过漏孔逸出，通过四极质谱仪进行探测的气体。
3.10
喷吹法 spray probe method
用喷枪喷出已知浓度的示踪气体束在被检件表面扫描进行检漏的方法。
3.11
四极质谱非真空累积法 accumulation leak testing
method of quadrupole mass spectrometer
将被检件置于密封的常压收集容器中，在规定的累积时间内由被检件中漏出的示踪气体聚集在收
集容器内，累积时间结束时，用四极质谱仪检测收集容器中示踪气体分压力的方法。
3.12
真空室法 vacuum chamber method
将充入示踪气体的被检件放入真空室内抽至规定的真空压力，在压差作用下，示踪气体通过漏孔进
入真空室而被四极质谱仪测试的方法。
3.13
吸枪法 sniffing probe method
被检件充入一定压力的示踪气体，用与四极质谱仪相连的吸枪嗅探被检件表面漏出的示踪气体的方法。
3.14
分辨本领 resolution
四极质谱仪分辨两相邻峰的能力，用质量数M 与峰高10%处的峰宽△M 之比表示。
3.15
原子质量数 atomic mass unit
表述不同原子质量的大小。
注1:单位为原子质量单位(u)。
注2:是以碳同位素(¹²C)质量的1/12作为 lu。
3.16
质量扫描 mass scanning
随着时间改变质量分析器的某个操作参数(电压、频率或磁场强度)以获得质谱的操作方式，有线
性、双曲线和指数等扫描。
3.17
进样系统 injection system
将大气环境下的气体进行取样、分流、降压，使之进入质谱室后不会影响质谱仪离子源工作的装置。
GB/T 35049—2018
3.18
基峰 base peak
又称为主峰，是测定质谱(纯物质质谱或混合物质谱)的图形系数时取作基准的最强峰。
3.19
图形系数 pattern coefficient
质谱图中，各峰的峰高比例关系。
注：利用图形系数可进行图谱检索。
无特殊要求时，环境要求如下：
a) 检漏工作场地温度为23℃±7℃,相对湿度不大于80%;
b) 检漏工作场地应清洁，通风良好；
c) 检漏工作场地周围不得有附加热源、强电磁场和强振动。
设备要求如下：
a) 检漏系统的检漏灵敏度应小于或等于被检件漏率要求的十分之一；
b) 最小可检分压力应小于或等于1.0×10-⁸ Pa;
c) 分辨本领应不大于1 u;
d) 质量数扫描时间应小于或等于1 u/s;
e) 大工作压力应不低于1.0×10-² Pa;
f) 最大检测质量数应不小于50 u;
g) 质量数并行检测通道不小于10个；
h) 用模拟谱方式扫描真空环境中空气的残余气体成分，当残余气体主要为 H₂
、H₂O、N₂ 、O₂、 CO2 时四极质谱仪工作为正常。
所用示踪气体的气体纯度应足以让四极质谱仪检测到其浓度变化，并产生足够明显的输出信号。
无损检测人员应符合GB/T9445
规定的要求。经培训、考核并有相关资格证书的人员，要求持证上岗。
应用四极质谱仪检漏可以根据泄漏检测的具体需求选择任意一种或多种气体作为示踪气体。但是
在选择示踪气体时应该遵循以下原则：
a)
选择的示踪气体应该避开检测环境中成分含量高的气体种类，如空气成分中的氧气、氮气、水
蒸气以及部分含量较高的永久性气体和惰性气体；
b)
示踪气体应该选择离子碎片峰少，并且基峰与被检环境中含量高的气体基峰避免重合。
四极质谱仪检漏过程中扫描(监测)质量数的选择应该遵循以下原则：
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a) 优先选择示踪气体的基峰作为监测质量数；
b)
当示踪气体的基峰与被检测环境中的其他气体基峰存在重合时，应该依次选择示踪气体其他
碎片峰中响应值较大且被检环境中含量较少的碎片峰。
按照四极质谱仪和标准漏孔相关使用说明书要求，将仪器设备安装在检测系统上，打开标准漏孔，
调节四极质谱仪参数设置使得示踪气体在质谱图上的响应值达到最佳状态。
喷吹法主要用于对真空设备的漏孔定位和定量。
喷吹法检漏系统的组成，分别如图1和图2所示。
style="width:11.67361in;height:6.01389in" />
说明：
10—-示踪气体。
图 1 喷吹法直抽检漏系统的组成原理图
GB/T 35049—2018
style="width:11.60003in;height:5.99984in" />
说明：
11——真空阀2;
12——真空规2。
图 2 喷吹法辅抽检漏系统的组成原理图
5.1.3.1 检漏准备
检漏准备过程如下：
a)
仪器准备：将四极质谱仪、真空规、抽真空真空系统、阀体、管路、喷枪、校准漏孔等准备好，其
中，四极质谱仪、校准漏孔和真空规需经二级以上计量机构校准，并在有效期内；
b)
被检件的预处理：清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等，表
面干燥；
c)
按照图1或图2搭建检漏系统，并保证连接部位密封性能。若抽真空系统能够将被检件抽空
至质谱仪工作所需真空压力，则真空系统应该参照图1进行配置；若抽真空系统无法将被检件
抽空至质谱仪工作所需真空压力，则真空系统应该参照图2进行配置；
d)
校准漏孔需连接在被检件上，并且尽可能远离四极质谱仪，对于被检件上不能直接连接校准漏
孔的，可以通过管路系统连接校准漏孔；
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e) 配好已知浓度的示踪气体，如高纯氦气；
f) 在谱库检索中找到示踪气体的基峰质量数；
g) 按照4 . 7中要求对设备进行校准。
5.1.3.2 实施过程
5.1.3.2.1 抽 真 空
5.1.3.2.1.1 基于图1搭建的检漏系统，抽真空的步骤如下：
a) 打开真空阀2和校准阀；
b) 启动抽真空系统，期间缓慢打开真空阀1;
c) 当被检件真空压力稳定后关闭校准阀；
d) 当被检件真空压力满足四极质谱仪工作要求时(
一般真空压力应小于或等于1 .0×10-2 Pa), 打开四极质谱仪。
5.1.3.2.1.2 基于图2搭建的检漏系统，抽真空的步骤如下：
a) 打开真空阀1和校准阀；
b) 启动抽真空系统，期间缓慢打开真空阀2;
c) 当被检件真空压力稳定后关闭校准阀；
d)
打开限流阀，并调节限流阀开口大小，使得真空规1处的真空压力满足四极质谱仪工作要求
(一般真空压力应小于或等于1.0×10- ²Pa);
e) 打开四极质谱仪。
5.1.3.2.2 选择监测质量数
根据示踪气体的成分和真空容器内残余气体成分，选取合适的监测质量数，如氦气的质量数选择
5.1.3.2.3 检漏灵敏度测试
检漏灵敏度的测试过程如下：
a) 在校准阀关闭的情形下，读取质谱仪的本底值 I 。和噪声值I;
b) 打开校准阀，待四极质谱仪的输出值稳定时，测量质谱仪的响应值 I;
c) 关闭校准阀。
检漏灵敏度按式(1)计算：
式 中 ：
style="width:2.56674in;height:0.64658in" />
……………………
(1)
Q.min—— 检漏灵敏度，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
I 。 — 质谱仪的噪声或最小可读信号，单位为安培(A);
I — 校准漏孔打开后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
I 。 —— 本底值，单位为安培(A);
Q 。 —— 校准漏孔的检定值，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s)。
5.1.3.2.4 响应时间测试
响应时间的测试步骤为：
a) 选择合适的示踪气体监测质量数并处于连续扫描模式；
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b) 关闭校准阀，在质谱仪信号稳定后记录输出值 Io;
c) 打开校准阀，在质谱仪输出信号稳定后记录输出值 I;
d) 关闭校准阀，直至质谱仪输出信号恢复到 I。;
e) 在连续监测质谱图上计算响应时间，计算的原则是：响应时间 x
等于清除时间，在数值上为检 漏系统的输出值由 I 下降至 I-I。
差值的37%所需的时间，如图3所示。
style="width:9.41341in;height:6.21346in" />
图 3 响应时间的测试示意图
5.1.3.2.5 喷吹
a) 喷吹的过程如下：
1)
判断检漏灵敏度是否小于等于被检件漏率要求的十分之一。如果满足则可以继续测试，
否则应通过下降本底，更换质谱仪或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施；
2) 设定连续扫描测试时间的步长，扫描步长应不大于响应时间；
3)
用喷枪对被检件的疑似漏孔部位喷吹示踪气体，喷示踪气体时间不得小于3倍响应时间；
4) 喷枪嘴应与被检部位的距离保持小于6 mm, 喷枪的扫描速度
一般应保持在小于
5) 质谱仪中监测的质量数离子流有明显变化时，标记漏孔位置，并记录响应值
I₂ ;
6)
停止喷枪喷示踪气体，等待检漏系统回归本底，等待时间不得小于响应时间的5倍；测试
下一个疑似泄漏部位。
b) 喷吹过程应遵循如下程序：
1)
根据示踪气体的原子量或者质量密度选择检漏扫描方式，当示踪气体的原子量小于29
u
时，检漏扫描应从被检件的最上部分开始，逐渐向下扫描；当示踪气体的原子量大于29
u 时，检漏扫描应从被检件的最下部分开始，逐渐向上扫描；
2) 若被检件存在多孔状的漏孔，可以考虑增加喷吹时间；
3)
测试完成后应通过通风循环设备，尽可能地排除检漏场地的示踪气体，降低示踪气体
本底。
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5.1.3.2.6 漏率计算
漏率的计算按式(2)确定：
style="width:2.78008in;height:0.63998in" /> …………………… (2)
式中：
Q — 被检件漏率，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
I₂- 被检件质谱仪的响应值，单位为安培(A);
I 。— 本底值，单位为安培(A);
I₁- 校准漏孔打开后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
Qo— 校准漏孔的检定值，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
γ — 示 踪 气 体 浓 度 ( % ) 。
5.1.3.2.7 检漏后处理
检漏后处理过程如下：
a)
按5.1.3.2.3的要求，复核检漏灵敏度。若复检的检漏灵敏度变化值大于首次测试结果的65%
时，质谱仪及真空系统应进行清洗、维修或重新标定，被检件应重新检漏；
b) 关闭质谱仪和真空阀门；
c) 被检件停止抽真空，将干净的空气或氮气引进被检件，使被检件回到常压；
d) 拆除被检件抽真空系统、校准漏孔和阀体管路等装置。
5.1.3.3 评估
若测试的漏率值小于或等于被检件要求的漏率值，则该被检件通过漏率测试。
真空室法适用于内部充一定压力示踪气体的被检件。该方法具有检测时间短，灵敏度高，只能用于
检测被检件的总漏率。四极质谱真空室法可以对多个被检件进行并行检测，要求不同被检件需要充入
不同的示踪气体成分。
真空室法检漏系统的组成，如图4所示。
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style="width:8.31334in;height:5.0468in" />
说明：
10——充放气设备；
11——示踪气体气源。
图4 真空室法检漏系统的组成原理图
5.2.3.1 检漏准备
检漏准备过程如下：
a)
仪器准备：将四极质谱仪、真空校准漏孔、真空规、充放气设备、真空容器和真空系统等准备好，
其中，四极质谱仪、真空校准漏孔、真空规等需经二级以上计量机构校准，并在有效期内；
b)
被检件的预处理：清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等，表
面干燥；
c) 将仪器设备按图4连接，保证连接的部位有较好的密封性，
一般应对密封连接部件进行单点检 漏，排除泄漏干扰；
d)
校准漏孔需连接在被检件上，并且尽可能远离四极质谱仪，对于检漏容器不能直接连接校准漏
孔的，可以通过管路系统连接真空校准漏孔；
e) 配好已知浓度的示踪气体；
f)
在谱库检索中找到示踪气体的基峰及碎片峰质量数，对于多个被检件并行检漏工作，需要逐一
找到对应的示踪气体基峰及碎片峰质量数；
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g) 按4.7中要求对设备进行校准；
h)
对于多个被检件并行检漏工作，需要准备与多种示踪气体对应的真空校准漏孔。
5.2.3.2 实施过程
5.2.3.2.1 抽真空
将被检件放入真空容器中，关闭真空容器，并抽真空。若对被检件检漏状态的真空压力有要求，则
抽至所需的真空压力；若没有明确的真空压力要求，则至少抽至四极质谱仪可以工作的真空压力(一般
为小于或等于1.0×10-2 Pa)。
5.2.3.2.2 选择监测质量数
根据示踪气体的成分和真空容器内残余气体成分，选择合适的监测质量数，如氦气的质量数选择
4
u;对于多个被检件并行检漏，可以选择对应的监测质量数，如选用氦气和氪气作为示踪气体，可选择
5.2.3.2.3 检漏灵敏度测试
检漏灵敏度测试的过程见5.1.3.2.3。
5.2.3.2.4 响应时间测试
响应时间测试的过程见5.1.3.2.4。
5.2.3.2.5 测试过程
5.2.3.2.5.1 测 试 的 过 程 如 下 ：
a)
判断检漏灵敏度是否小于等于被检件漏率要求的十分之一。如果满足则可以继续测试，否则
应通过下降本底，更换四极质谱仪或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施；
b) 设定连续扫描测试时间的步长，扫描步长应不大于响应时间；
c) 在关闭校准阀的情况下测得真空容器中的初始示踪气体离子流 IAo;
d)
打开校准阀，待四极质谱仪的输出值稳定时，测得真空容器中的示踪气体离子流
IA;
e) 关闭校准阀；
f)
将示踪气体引入被检件内部，并加压至被检件的工作压力。若被检件可以抽真空，则一般先将
其抽真空后，再充至规定的压力；若被检件不能抽真空，则可以通过高纯示踪气体多次置换的
方法降低被检件中本底空气对示踪气体浓度的影响；
g) 测得真空容器中的示踪气体离子流 IA₂
,测试时间应不小于3倍的响应时间；
h) 对被检件进行放气。
5.2.3.2.5.2 真空室法实施过程遵循的程序为：
a)
对被检件的加压应注意加压速度，防止因加压速度过快，导致被检件温度上升过高；
b)
对于被检件可能存在多孔状的漏孔，如焊缝中存在孔洞，可以考虑增加测试时间，测试时间以
质谱仪的响应值稳定为准；
c)
测试完成后应通过通风循环设备，尽可能地排除检漏场地的示踪气体，降低示踪气体本底；
d)
对于多个被检件并行检漏工作，需要在多个真空校准漏孔都打开真空压力稳定后再测试，避免
逐个打开影响真空压力。
5.2.3.2.6 漏率计算
按式(3)计算漏率：
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style="width:3.37338in;height:0.68002in" /> …………………… (3)
式中：
QA —— 被检件 A(A=1,2,3 …n) 漏率，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
IA2 — 被检件充入示踪气体后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
Iao — 真空容器本底值，单位为安培(A);
IAi —— 打开校准漏孔后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
QAo — 校准漏孔漏率，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
YA —— 示踪气体A(A=1,2,3 …n) 浓度(%)。
5.2.3.2.7 检漏后处理
检漏后处理过程如下：
a)
按5.1.3.2.3的要求，复核检漏灵敏度。若复检的检漏灵敏度变化值大于首次测试结果的65%
时，质谱仪及真空系统应进行清洗、维修或重新标定，被检件应重新检漏；
b) 关闭抽真空系统，将干净的空气或氮气引进真空容器，使其回到常压；
c) 拆除四极质谱仪、真空校准漏孔、充气设备等装置。
5.2.3.3 评估
若测试的漏率值小于或等于被检件要求的漏率值，则该被检件通过漏率测试。
四极质谱非真空累积法主要用于对正压的被检件进行总漏率测试，其不能进行漏孔的定位，若需定
位，则应和喷吹法或吸枪法配合使用。
四极质谱非真空累积法检漏系统的组成如图5所示。
GB/T 35049—2018
style="width:10.85993in;height:5.78666in" />
说明：
10——充放气设备；
12——标定系统或正压标准漏孔。
图 5 四极质谱仪非真空累积法检漏系统的组成原理图
5.3.3.1 检漏准备
检漏准备过程如下：
a)
仪器准备：将四极质谱仪、取样系统、风机、收集容器、标定系统(或正压校准漏孔),充气设备等
准备好，其中，四极质谱仪、校准漏孔需经二级以上计量机构校准，并在有效期内；
b)
被检件的预处理：清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等，表
面干燥；
c) 将仪器设备按图5连接，保证连接的部位有较好的密封性，
一般应对密封连接部件进行单点检 漏，排除泄漏干扰；
d) 配好已知浓度的示踪气体；
e) 收集容器可以是刚性的，也可以是柔性的，但应具有较好的密封性能；
f)
在谱库检索中找到示踪气体的基峰及碎片峰质量数，对于多个被检件并行检漏工作，需要逐一
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找到对应的示踪气体基峰及碎片峰质量数；
g) 按照4 . 7中要求将设备进行校准；
h)
对于多个被检件并行检漏工作，需要准备与多种示踪气体对应的正压校准漏孔或通过标定系
统放入多种定量示踪气体。
5.3.3.2 实施过程
5.3.3.2.1 抽真空
打开抽真空系统、真空阀和取样系统，调节限流阀，待质谱室真空压力满足质谱仪工作要求时启动
四极质谱仪。
5.3.3.2.2 选择监测质量数
根据示踪气体的成分和真空容器内残余气体成分，选择合适的监测质量数，如氦气的质量数选择
4
u;对于多个被检件并行检漏，可以选择对应的监测质量数，如选用氦气和氪气作为示踪气体，可选择
5.3.3.2.3 检漏灵敏度测试
可分别采用下述两种方法测试检漏灵敏度：
a)
正压校准漏孔法：将未充入示踪气体的被检件和某正压校准漏孔放入收集容器中，关闭收集容
器，测试收集容器中示踪气体的本底和质谱仪的噪声，并分别记为 I 。和 I;
累 积 时 间t 后，开
启风机搅拌均匀后再次测试收集容器中的示踪气体的离子流，并记为 I 。
按式(1)计算检漏 灵敏度。
b)
固定气体量放样法：将未充入示踪气体的被检件放入收集容器中，关闭收集容器，测试收集容
器中示踪气体的本底和质谱仪的噪声，并分别记为 I 。和 In 。
向收集容器中放入气体量为 W
的示踪气体，待风机搅拌均匀后，测试此时收集室内的示踪气体离子流为 I 。
累积时间 t 后 的
检漏灵敏度按式(4)计算：
style="width:2.28668in;height:0.67342in" /> (4)
式 中 ：
Q.min—— 检漏灵敏度，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
I 。 — 质谱仪的噪声值，单位为安培(A);
W — 放入收集室中的示踪气体量，单位为帕立方米(Pa ·m³);
I₁ — 校准漏孔打开后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
I 。 — 本底值，单位为安培(A);
t —— 累积时间，单位为秒(s)。
5.3.3.2.4 测试过程
5.3.3.2.4.1 测试的过程如下：
a) 判断检漏灵敏度是否小于等于被检件漏率要求的十分之一
。如果满足则可以继续测试，否则
应通过下降本底，更换质谱仪或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施；
b)
将示踪气体引入被检件的内部，并加压至被检件的工作压力。若被检件可以抽真空，则一般先
将其抽真空后，再充至规定的压力；若被检件不能抽真空，则可以通过高纯示踪气体多次置换
的方法降低被检件中本底空气对示踪气体浓度的影响。也可以不抽真空，直接在计算漏率时
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将本底空气对示踪气体浓度的影响进行修正；
c)
被检件充完示踪气体后放入收集容器中，关闭收集容器，开风机，待气体混合均匀后，测得收集
容器中的起始离子流 I, 测试时间应不小于3倍的响应时间；
d) 累积时间t 后，再次测试收集容器中的示踪气体离子流为 I;
e) 对被检件的漏率进行标定，具体过程见5.3.3.2.5;
f) 打开收集容器，取出被检件，并对被检件进行放气。
5.3.3.2.4.2 四极质谱仪非真空累积法实施过程遵循的程序为：
a)
选用风机风量的原则是：风机将收集室内总气量搅拌或循环一次的时间不大于5
min;
b)
为保证测试结果的准确性，风机循环总气量应不少于3倍收集室内总气体量，以保证收集容器
中示踪气体的均匀性；
c)
对被检件的加压应注意加压速度，防止因加压速度过快，导致被检件温度上升过高；
d)
对被检件的放气也应注意放气速度，防止因放气速度过快，导致被检件表面结露；
e)
测试完成后，应通过措施，如通风循环设备，尽可能地排除检漏场地的示踪气体，降低本底。
5.3.3.2.5 标定
四极质谱非真空累积法的标定一般有两种方法：
a) 正压校准漏孔标定法：打开接在收集容器上的正压校准漏孔，同样累积 t
时间后，测试质谱仪 的响应值 I₂, 关闭漏孔；
b) 固定气体量放样标定法：通过标定系统向收集容器中放入气体量为 W
的示踪气体，待风机搅 拌均匀后，测试此时收集室内的示踪气体离子流为 I₂。
5.3.3.2.6 漏率计算
可采用下述两种方法计算漏率：
a) 使用正压校准漏孔标定法按式(5)计算漏率
style="width:2.77331in;height:0.6534in" /> ( 5)
式中：
Q — 被检件漏率，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
I₁ - 被检件质谱仪的响应值，单位为安培(A);
I 。— 本底值，单位为安培(A);
I2— 校准漏孔打开后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
Q 。- 校准漏孔的检定值，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
γ — 示 踪 气 体 浓 度 ( % ) 。
b) 使用固定气体放样标定法按式(6)计算漏率
style="width:2.35323in;height:0.6666in" /> (6)
式中：
Q —— 被检件漏率，单位为帕立方米每秒(Pa ·m³/s);
W — 放入收集室中的示踪气体量，单位为帕立方米(Pa ·m³);
— 被检件质谱仪的响应值，单位为安培(A);
I 。 — 本底值，单位为安培(A);
t —— 累积时间，单位为秒(s);
I2— 示踪气体放样后质谱仪的稳定响应值，单位为安培(A);
GB/T 35049—2018
— 示 踪 气 体 浓 度 ( % ) 。
5.3.3.2.7 检漏后处理
检漏后处理过程如下：
a)
按5.3.3.2.3的要求，复核检漏灵敏度。若复检的检漏灵敏度变化值大于首次测试结果的65%
时，质谱仪及真空系统应进行清洗、维修或重新标定，被检件应重新检漏；
b)
依次关闭四极质谱仪、取样系统、真空阀、抽真空系统和漏率标定系统等装置；
c)
正压校准漏孔若是常开型，则需常开保存；若是常闭型，则需要关闭正压校准漏孔的相关阀体。
5.3.3.3 评估
若测试的漏率值小于或等于被检件要求的漏率值，则该被检件通过漏率测试。
吸枪法主要用于对非真环境下产品的漏孔定位和定量。
吸枪法检漏系统的组成如图6所示。
style="width:12.28663in;height:5.07342in" />
说明：
8 — 正压漏孔； 9 ——充放气设备；
图 6 四极质谱仪吸枪法检漏系统的组成原理图
GB/T 35049—2018
5.4.3.1 检漏准备
检漏准备过程如下：
a)
仪器准备：将四极质谱仪、抽真空真空系统、阀体、管路、吸枪、正压漏孔等准备好，其中，四极质
谱仪、正压漏孔和真空规需经二级以上计量机构校准，并在有效期内；
b)
被检件的预处理：清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等，表
面干燥；
c) 将仪器设备按图6连接，保证连接的部位有较好的密封性；
d) 配好已知浓度的示踪气体，如高纯氦气；
e) 在谱库检索中找到示踪气体的基峰质量数；
f) 按照4.7中要求校准设备。
5.4.3.2 实施过程
5.4.3.2.1 抽真空
抽真空系统启动并稳定后，调节限流阀和吸枪的开度，使得真空规处的真空压力满足四极质谱仪正
常工作要求，打开四极质谱仪。
5.4.3.2.2 选择监测质量数
根据示踪气体的成分和真空容器内残余气体成分，选择合适的监测质量数，如氦气的质量数选择
4 u。
5.4.3.2.3 检漏灵敏度测试
检漏灵敏度的测试过程是：在吸枪嗅探大气环境的状态下，读取质谱仪的本底值
I。和噪声值 I;
用吸枪嗅探正压漏孔的示漏口，待四极质谱仪的输出值稳定时，测量质谱仪的响应值
I; 按式(1)计算
检漏灵敏度。
5.4.3.2.4 响应时间测试
响应时间的测试步骤为：
a) 选择合适的示踪气体监测质量数并处于连续扫描模式；
b) 用吸枪嗅探大气环境，在质谱仪信号稳定后记录输出值 Io;
c) 用吸枪嗅探正压漏孔的示漏口，在质谱仪输出信号稳定后记录输出值 I;
d) 在连续监测质谱图上计算响应时间，计算的原则是：响应时间t
在数值上为检漏系统的输出值 由 I。上升至 I-I。
差值的63%所需的时间，如图7所示。
GB/T 35049—2018
style="width:6.25998in;height:5.63332in" />I/A
图7 吸枪法响应时间的测试示意图
5.4.3.2.5 测试过程
5.4.3.2.5.1 测 试 的 过 程 如 下 ：
a)
判断检漏灵敏度是否小于等于被检件漏率要求的十分之一。如果满足则可以继续测试，否则
应通过下降本底，更换质谱仪或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施；
b) 对被检件进行抽空或用示踪气体进行多次置换或直至满足要求；
c) 将示踪气体充入被检件内部至要求压力值；
d) 设定连续扫描测试时间的步长，扫描步长应不大于响应时间；
e) 用吸枪嗅探被检件疑似部位，吸枪距离被检件表面1 mm～3mm,
移动速度不大于10 mm/s;
f) 质谱检漏仪有泄漏指示时，标记漏孔位置，并记录响应值 I₂ ,
测试时间不可小于3倍的响应 时间；
g)
将吸枪远离被检件，等待检漏系统清零，等待时间不可小于5倍的响应时间；
h) 测试下一个疑似泄漏部位；
i) 对被检件进行放气。
5.4.3.2.5.2 吸枪检漏过程应遵循的程序为：
a)
根据示踪气体的原子质量或者质量密度选择检漏扫描方式，当示踪气体的原子质量大于29
u
时，吸枪嗅探应从被检件的最上部分开始，逐渐向下扫描；当示踪气体的原子质量小于29
u 时，检漏扫描应从被检件的最下部分开始，逐渐向上扫描；
b)
对于检测非规则或多孔状的漏孔，可以考虑使用收集罩进行累积测试，而在校准时应使用该收
集罩放在正压漏孔的示漏口处进行累积，两者累积测试时间应该一致；
c)
对于焊缝和螺接点的检测可以使用柔性材料将待测点进行密封，累积一定时间后对密封腔内
的示踪气体进行检测；在校准时应在正压漏孔的示漏口处制作同样大小的密封腔进行累积，两
者累积测试时间应该一致；
d)
测试完成后应通过通风循环设备，尽可能地排除检漏场地的示踪气体，降低示踪气体本底。
GB/T 35049—2018
5.4.3.2.6 漏率计算
按式(2)计算漏率。
5.4.3.2.7 检漏后处理
检漏后处理过程如下：
a)
按5.1.3.2.3的要求，复核检漏灵敏度。若复检的检漏灵敏度变化值大于首次测试结果的65%
时，质谱仪及真空系统应进行清洗、维修或重新标定，被检件应重新检漏。
b) 关闭质谱仪，关闭限流阀和真空阀。
5.4.3.3 评估
若测试的漏率值小于或等于被检件要求的漏率值，则该被检件通过漏率测试。
检漏记录一般包括：检漏日期、检漏地点、环境温度、环境湿度、环境压力、仪器编号、检漏方法、过程
的测试数据以及检漏人员等内容。样表见附录 A。
检漏报告样表见附录B。
GB/T 35049—2018
(规范性附录)
四种检漏方法适用的检漏记录
表 A.1 规定了四极质谱喷吹和吸枪检漏方法的记录表。
表 A.1 检漏记录表
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GB/T 35049—2018
表 A.2 规定了四极质谱真空室检漏方法的记录表。
表 A.2 检漏记录表
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表 A.3 规定了四极质谱非真空累积检漏方法(放样标定)的记录表。
表 A.3 检漏记录表
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GB/T 35049—2018
表 A.4 规定了四极质谱非真空累积检漏方法(漏孔标定)的记录表。
表 A.4 检漏记录表
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GB/T 35049—2018
(规范性附录)
检漏报告
表 B.1 规定了四极质谱检漏方法的检漏报告表。
表 B.1 检漏报告表
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更多内容 可以 GB-T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法. 进一步学习
