T-CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨

ICS 31.030 CCS Q 50/59 团体标准碳化硅单晶生长用等静压石墨 Iso-static graphite for silicon carbide single crystals 2025 - 04 - 23发布 2025 - 04 - 23实施 T/CASAS 048—2025 第三代半导体产业技术创新战略联盟发布全国团体标准信息平台 T/CASAS 048 —2025 I 目次前言 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ ...... II 引言 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .... III 1 范围 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ................................ ................................ .............. 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ................................ ................................ ...................... 1 4 技术要求 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 2 外观 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................... 2 性能 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................... 2 纯度要求及杂质元素含量 ................................ ................................ ................................ ....................... 2 5 试验方法 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 2 体积密度 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 2 电阻率 ................................ ................................ ................................ ................................ ....................... 2 抗折强度 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 3 耐压强度 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 3 抗拉强度 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 3 热膨胀系数 ................................ ................................ ................................ ................................ ............... 3 热导率 ................................ ................................ ................................ ................................ ....................... 3 肖氏硬度 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 3 各向同性度 ................................ ................................ ................................ ................................ ............... 3 纯度及元素杂质含量 ................................ ................................ ................................ ............................. 3 动态弹性模量 ................................ ................................ ................................ ................................ ......... 3 石墨化度 ................................ ................................ ................................ ................................ ................. 3 6 检验规则 ................................ ................................ ................................ ................................ ........