ICS31.080 CCS L 40/49 团 体 标 准 T/CASAS 046—2024 2024‑11‑19发布 2024‑11‑19实施 第三代半导体产业技术创新战略联盟 中 国 标 准 出 版 社发 布 出 版碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 （SiC MOSFET ）动态反偏 （DRB） 试验方法 Dynamic reverse bias （DRB）test method for silicon carbide metal‑oxide semiconductor filed effect transistors （SiC MOSFET ） 全国团体标准信息平台 Ⅰ目 次 前言…………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言…………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1范围………………………………………………………………………………………………………… 1 2规范性引用文件 …………………………………………………………………………………………… 1 3术语和定义 ………………………………………………………………………………………………… 1 4试验电路 …………………………………………………………………………………………………… 2 5试验方法 …………………………………………………………………………………………………… 2 5.1试验流程 ……………………………………………………………………………………………… 2 5.2样品选择 ……………………………………………………………………………………………… 3 5.3初始值测量 …………………………………………………………………………………………… 3 5.4试验条件 ……………………………………………………………………………………………… 3 5.5应力波形 ……………………………………………………………………………………………… 4 5.6中间测量或终点测量 ………………………………………………………………………………… 5 6失效判据 …………………………………………………………………………………………………… 5 7试验报告 …………………………………………………………………………………………………… 5 附录A（资料性）SiC MOSFET 动态反偏试验记录表 …………………………………………………… 6 参考文献 ………………………………………………………………………………………………………… 7T/CASAS 046—2024 全国团体标准信息平台 前 言 本文件按照 GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第 1部分：标准化文件的结构和起草规则 》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 。 本文件由第三代半导体产业技术创新战略联盟提出并归口 。 本文件起草单位 ：工业和信息化部电子第五研究所 、忱芯科技 （上海）有限公司 、中国科学院电工研究 所、比亚迪半导体股份有限公司 、清纯半导体 （宁波）有限公司 、复旦大学宁波研究院 、东风汽车集团有限 公司、湖北九峰山实验室 、深圳市禾望电气股份有限公司 、杭州芯迈半导体技术有限公司 、中国电力科学 研究院有限公司 、中国第一汽车集团有限公司 、广电计量检测集团股份有限公司 、西安交通大学 、深圳平 湖实验室 、江苏第三代半导体研究院有限公司 、广东省东莞市质量监督检测中心 、北京第三代半导体产业 技术创新战略联盟 。 本文件主要起草人 ：陈媛、何亮、施宜军、毛赛君、陈兴欢、赵鹏、王宏跃、蔡宗棋、张瑾、吴海平、孙博韬、 丁琪超、左元慧、张俊然、李钾、王民、王丹丹、谢峰、闵晨、杨霏、刘昌、朱占山、张诗梦、李汝冠、王来利、 张彤宇、王铁羊、刘陆川、胡浩林、李炜鸿、赵高锋、李本亮、高伟。 ⅢT/CASAS 046—2024 全国团体标准信息平台 引 言 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 （SiC MOSFET ）具有阻断电压高 、工作频率高 、耐高温能力 强、通态电阻低和开关损耗小等特点 ，广泛应用于高频 、高压功率系统中 。随着电力电子技术的不断发 展，越来越多的领域如航天 、航空、石油勘探 、核能、通信等，迫切需要能够在髙温 、高频等极端环境下工作 的电子器件 。 由于SiC MOSFET 在功率变换中常面临高压 、高频、高温等复杂应力条件 ，其终端充放电效应 ，在开 关性能明显优于 Si器件的SiC器件中更为突出 ，为了验证终端的可靠性不会因器件导通和关断引起的电 场强度持续变化而受到影响 ，有必要对 SiC MOSFET 在开关动态情况下的反偏可靠性进行评估 。本文 件给出了适用于 SiC MOSFET 器件的动态反偏 （DRB）试验方法 。T/CASAS 046—2024 Ⅳ全国团体标准信息平台