SJ-T 10551-2021 电子陶瓷用三氧化二铝中杂质的发射光谱分析方法

ICS 31.030 SJ L90 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T105512021 代替SJ/T10551-1994 电子陶瓷用三氧化二铝中杂质的发射光谱分析方法 Methodofemission spectrochemical analysis of impurities inAlO foruseinelectronceramics 2021-03-05发布 2021-06-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T105512021 前言本标准按照GB/T1.1—2009制定的规则起草请注意本文件的某些内客可能涉及专利。本文件的发市机构不承担识刻这尝专利的责任。本标准代替SJ/T10551一1994《电子陶瓷用三氧化二铝中杂质的发射光谱分析方法》，本标准与 SJ/T10551—1994相比，主要有如下变动：按GB/T1.1一2009规定的格式通行了修改，的测定”。（见2，SJ/T10551-1994的2）到除了“米吐尔一一海德路显影液和定影液”中的“米吐尔一一海德路”，（见3.9，SJ/T 105511994的3.1) 仅器设备中增加了烘箱，（见4.11）分析步赚中增加了预暖光时间。（见6.2）本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口，本标准起革单位：中国电子技术标准化研究院。本标准主爱起草人，蒸、张理、装会川，本标准所代智标准的历次版本发布情况为：代誉SJ/T10551—1994

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本文档由人生无常于 2025-05-25 00:03:01上传分享